一種六自由度微振動(dòng)抑制平臺(tái)及其控制方法
本發(fā)明的六自由度微振動(dòng)抑制平臺(tái),包括基礎(chǔ)平臺(tái)、負(fù)載平臺(tái)、 完全相同的六套單自由度主被動(dòng)復(fù)合隔振裝置以及控制器,每套單自 由度主被動(dòng)復(fù)合隔振裝置上下兩端分別與負(fù)載平臺(tái)和基礎(chǔ)平臺(tái)連接。 本發(fā)明的控制方法,包括計(jì)算邏輯軸信號(hào)、計(jì)算邏輯軸控制信號(hào)、計(jì) 算物理軸實(shí)時(shí)控制信號(hào)和傳遞步驟。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,剛度可調(diào),能 夠?qū)?nbsp;X 軸、Y 軸、Z 軸的平動(dòng)方向及轉(zhuǎn)動(dòng)方向的六自由度微振動(dòng)進(jìn)行 抑制和隔離,能夠適合不同的場(chǎng)合,可以有效的衰減不同頻段的微振 動(dòng),為微振動(dòng)環(huán)境下的精密加
華中科技大學(xué)
2021-04-14