一種三自由度微振動抑制平臺及其控制方法,屬于振動隔離與 抑制裝置,解決現有主被動復合隔振機構存在的結構復雜、控制方式 繁瑣的問題。本發明的三自由度微振動抑制平臺,包括基礎平臺、負 載平臺、完全相同的三套單自由度主被動復合隔振組件以及控制器, 每套單自由度主被動復合隔振組件上下兩端分別與負載平臺和基礎平 臺連接。本發明的控制方法,包括計算邏輯軸位移信號、計算邏輯軸 控制信號、計算物理軸實時控制信號和傳遞步驟。本發明結構簡單, 剛度可調,能夠對 X 軸、Y 軸的轉動方向及&
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