本發明的六自由度微振動抑制平臺,包括基礎平臺、負載平臺、 完全相同的六套單自由度主被動復合隔振裝置以及控制器,每套單自 由度主被動復合隔振裝置上下兩端分別與負載平臺和基礎平臺連接。 本發明的控制方法,包括計算邏輯軸信號、計算邏輯軸控制信號、計 算物理軸實時控制信號和傳遞步驟。本發明結構簡單,剛度可調,能 夠對 X 軸、Y 軸、Z 軸的平動方向及轉動方向的六自由度微振動進行 抑制和隔離,能夠適合不同的場合,可以有效的衰減不同頻段的微振動。