一種測量激光光束質(zhì)量的裝置、方法及光路準(zhǔn)直方法
本發(fā)明公開了一種測量激光光束質(zhì)量的裝置、方法及光路準(zhǔn)直 方法,解決了現(xiàn)有激光光束質(zhì)量測量系統(tǒng)放置激光器后需要花費大量 時間進(jìn)行手動準(zhǔn)直的問題。本發(fā)明包括激光器,第一衰減片,第二衰 減片,全反射棱鏡,反射鏡,圖像采集模塊,光束傳輸距離調(diào)節(jié)模塊, 光束傳輸角度調(diào)節(jié)模塊,數(shù)據(jù)處理模塊。本發(fā)明通過光束傳輸距離調(diào) 節(jié)模塊和數(shù)據(jù)處理模塊測量出不同光束傳輸距離下的光斑中心位置計 算出光束偏離角度,從而通過光束傳輸角度調(diào)節(jié)模塊對激光
華中科技大學(xué)
2021-04-14