一種測量激光光束質量的裝置、方法及光路準直方法

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本發明公開了一種測量激光光束質量的裝置、方法及光路準直

方法，解決了現有激光光束質量測量系統放置激光器后需要花費大量

時間進行手動準直的問題。本發明包括激光器，第一衰減片，第二衰

減片，全反射棱鏡，反射鏡，圖像采集模塊，光束傳輸距離調節模塊，

光束傳輸角度調節模塊，數據處理模塊。本發明通過光束傳輸距離調

節模塊和數據處理模塊測量出不同光束傳輸距離下的光斑中心位置計

算出光束偏離角度，從而通過光束傳輸角度調節模塊對激光

試用