掃描電子聲(熱波)顯微鏡
掃描電子聲顯微鏡技術(shù)是在掃描電子顯微鏡的基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的一種基于熱聲效應(yīng)的無(wú)損檢測(cè)技術(shù)。當(dāng)掃描電子顯微鏡的探測(cè)電子束對(duì)樣品進(jìn)行掃描成像時(shí),入射的電子會(huì)把入射的能量部分轉(zhuǎn)化成熱能,從而使樣品表面及亞表面層的溫度升高。通過(guò)對(duì)掃描電子束實(shí)現(xiàn)強(qiáng)度調(diào)制,從而使樣品表面及亞表面周期性加熱激發(fā)聲波(電子聲信號(hào))。檢測(cè)不同位置的聲信號(hào)的振幅和相位,可分析樣品在不同深度的結(jié)構(gòu)、性質(zhì)和參量,實(shí)現(xiàn)分層成像。由于電子束能聚焦得比較細(xì),其成象分辨率優(yōu)于光聲顯微鏡,特別適合于
南京大學(xué)
2021-04-14