一種單腔多孔式節(jié)流結(jié)構(gòu)的氣體軸承
本發(fā)明公開(kāi)了一種單腔多孔式節(jié)流結(jié)構(gòu)的氣體軸承,其特征在于:在氣體軸承上開(kāi)有中心孔,該中心孔內(nèi)鑲嵌有圓柱體,該圓柱體的直徑為 5~10mm,長(zhǎng)度為 0.1~2mm,該圓柱體上開(kāi)有微型孔陣列,微型孔的孔徑為 1~100μm,微型孔陣列構(gòu)成節(jié)流器,中心孔的上端開(kāi)有一個(gè)圓柱體腔作為進(jìn)氣腔,中心孔的下端開(kāi)有一個(gè)圓柱體腔作為壓力腔,壓力腔與進(jìn)氣腔的直徑具有相同量級(jí),為 1~10mm,壓力腔的深度為 0.01~0.5mm。這種單腔多孔式節(jié)流結(jié)構(gòu)的氣體軸承具有良好的穩(wěn)定性和力學(xué)性能,能應(yīng)用于各種超精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)中,實(shí)
華中科技大學(xué)
2021-04-14