本發明公開了一種單腔多孔式節流結構的氣體軸承,其特征在于:在氣體軸承上開有中心孔,該中心孔內鑲嵌有圓柱體,該圓柱體的直徑為 5~10mm,長度為 0.1~2mm,該圓柱體上開有微型孔陣列,微型孔的孔徑為 1~100μm,微型孔陣列構成節流器,中心孔的上端開有一個圓柱體腔作為進氣腔,中心孔的下端開有一個圓柱體腔作為壓力腔,壓力腔與進氣腔的直徑具有相同量級,為 1~10mm,壓力腔的深度為 0.01~0.5mm。這種單腔多孔式節流結構的氣體軸承具有良好的穩定性和力學性能,能應用于各種超精密運動平臺中,實
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