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本實用新型公開了一種硅通孔結構，其形成于硅片上，并包括摻雜粒子構成的導電區和絕緣區，絕緣區與所述導電區摻雜的粒子的極性相反，所述導電區表面覆蓋有金屬電極，所述硅片的表面除所述金屬電極之外的區域覆蓋有絕緣層。本實用新型硅通孔結構的優點在于：通過粒子摻雜方式形成硅通孔結構的導電區和絕緣區，導電區和絕緣區的基體都還是硅片本身，避免了目前硅通孔技術中金屬和硅片熱膨脹系數不同造成的熱應力問題，能夠提高器件的可靠性和壽命。

本發明公開了一種硅通孔結構的制造方法，包括以下步驟：將硅片的厚度減薄至 5 微米至 20 微米；去除硅片表面的所有絕緣層；在硅片的導電區表面和絕緣區表面制作摻雜掩膜，以對導電區和絕緣區分別進行粒子摻雜，絕緣區與導電區摻雜的粒子的極性相反；在粒子摻雜完成后去除摻雜掩膜；在導電區表面覆蓋金屬電極；在硅片的表面除金屬電極之外的區域覆蓋絕緣層。本發明的方法制造工藝簡單，可避免刻蝕、絕緣處理等工藝對硅片的破壞，并能夠提高制造硅通孔結構的成品率。本發明還公開了一種硅通孔結構。

本發明公開了一種電場輔助的硅通孔刻蝕工藝，包括步驟：（1）在單晶硅片上旋涂光刻膠并通過光學光刻或電子束光刻得到光刻膠圖形 ；（ 2 ） 鍍 上 銀 膜 或 金 膜 ；（ 3 ） 在 電 場 之 中 ， 采 用 HF 、H₂O₂和去離子水的混合溶液作為刻蝕劑進行金屬催化刻蝕；（4）去除光刻膠；（5）去除單晶硅片上殘留的金屬膜并進行清洗處理。本發明通過在刻蝕過程中控制電場強度，由此形成從數十納米至數

本發明公開了一種硅通孔互連結構的制備方法，步驟為①將鍵合硅器件晶圓鍵合于硅晶圓基板上；②減薄硅器件晶圓，再刻蝕硅器件晶圓，形成盲孔；③在硅器件晶圓上涂敷一層圖案化介電材料(如聚對二甲苯)；④刻蝕圖案化介電質層，刻蝕掉盲孔底部的介電材料，保留盲孔側壁；在基板上形成介電質孔，使介電質孔和盲孔同軸；⑤在介電質孔上沉積一層導電材料，作為導電層，形成導電孔；⑥在導電層上再沉積一層圖案化介電質層；⑦移除基板，在導電層上形成焊料微凸點。本發明簡化了工藝步驟，減少工藝時間并降低了費用；降低了寄生電容，提升了互連電性

本發明公開了一種加工硅通孔互連結構的工藝方法，步驟為：①在基板上刻蝕盲孔；②在基板上沉積一層圖案化介電質層；③刻蝕圖案化介電質層，刻蝕掉盲孔底部的介電材料，保留盲孔側壁的介電材料，在基板上形成介電質孔；④在介電質孔上沉積一層導電材料，形成導電孔；⑤在導電層上再沉積一層圖案化介電質層，填充導電孔；⑥刻蝕板背面，暴露出導電層，在導電層上形成焊料微凸點。圖案化介電質層的材料優選聚對二甲苯。本發明簡化了工藝步驟，減少工藝時間并降低了費用；使用二層圖案化介電質層，降低了寄生電容，提升了互連電性能，適用于高速和

本發明公開了一種基于雙向填充的通孔互聯結構制作方法，包括：（a）在基片第一表面上加工制得第一盲孔；（b）在第一表面上淀積絕緣層、阻擋層和種子層；（c）在第二表面上套刻加工制得第二盲孔，且其深度止于露出第一盲孔中的絕緣層；（d）在第二表面上淀積絕緣層和阻擋層；（e）在第二表面的阻擋層上平鋪貼合干膜并執行曝光顯影；（f）以干膜作為掩膜，對絕緣層和阻擋層執行刻蝕處理僅保留下種子層；（g）執行填充操作。本發明中還公開了相應的通孔互聯結構產品。通過本發明，能夠以便于操控、高效率的方式執行填充過程，并獲得填充效

本發明公開了一種通過自底向上填充實現通孔互聯的方法，包括：（a）在基片的一個表面上加工制得盲孔；（b）在加工盲孔的基片表面上依次生長絕緣層、阻擋層和種子層；（c）向種子層表面上涂布光刻膠并填平盲孔，然后執行曝光及顯影處理，以使光刻膠僅在盲孔底部的種子層表面上殘留；（d）去除未覆蓋光刻膠的種子層，而盲孔底部的種子層不受影響；（e）去除殘留的光刻膠；（f）向盲孔中填充導電材料完成自底向上的生長；（g）減薄基片未加工盲孔的表面形成通孔，由此完成通孔互聯過程。本發明還公開了相應的通孔互聯結構產品。通過本發明

不同細胞之間的相互作用和信息傳遞在包括 免疫 響應 、 器官 發育、神經傳導 在內的眾多生命活動中都扮演 著 關鍵角色 。目前， 研究 細胞互作 的方法 大 都 需要 已知參與 的 細胞類型 ，難以在復雜的活體環境下發現或研究未知的細胞 間 相互作用 。 為了解決這一難題，陳鵬課題組 借助“定向進化”技術和“ 鄰近標記 ”策略，實現了 細胞 之間 動態相互作用的 原位捕獲。這一被命名為 EXCELL （ Enzyme- m ediated proximal cell labeling ） 的技術，通過將 作者 定向進化得到的分選酶（ mg SrtA ） 展示在 待研究的 細胞表面， 能夠對與其 相互作用 的 細胞 進行原位捕獲與鑒定 ，為研究細胞 - 細胞相 互作用提供了有力的工具 。 源自 金黃色葡萄球菌 的 分選酶 Sortas e  A   （ SrtA ） 能夠 催化 分選肽 （ LPETG ） 和寡聚甘氨酸 的 共價連接。近期有文獻報道將 SrtA 用于監測小鼠體內特定受體 - 配體介導的免疫 細胞互作 過程 1 。但是該方法 需要將 SrtA 與 寡聚甘氨酸分別融合在相互作用 的 配體和受體 細胞 上， 因此需要預知 相互作用的 細胞 類型，并對兩類細胞 同時進行 基因 改造 ，因此無法捕捉未知的細胞間相互作用 。本研究突破了這一瓶頸， 建立了 對 SrtA 進行定向進化的高通量 熒光 篩選 平臺，并成功 獲得 了 對單一甘氨酸進行標記的 高活性 SrtA 突變體 - mgSrtA ， 能夠 實現對 任意 細胞類型的有效標記。

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首先，“通”硬件，每個班級須配備適量的信息化設備和網絡設施。 硬件、網絡和軟件配置構成了“班班通”。第一類也是最基礎的“班班通”類型是使最基本數字資源以及展示設備進入每一個教室，即簡易多媒體教室類型。將簡易多媒體教室納入“班班通”。第二類是以多媒體計算機作為核心設備，并配以各種信息展示與交互設備的多媒體教室類型，這是“班班通”目前最主要的表現形式。第三類是普通的網絡教室和移動網絡教室，這是一種面向未來的教室配置，現階段主要表現為“人手一機”，在未來甚至可能會發展到“一人多機”的形式。其中在硬件方面，對語音和視頻設備方面，需要有很高的品質。聲音方面，班班通的標配語音電話 “秒秒鐘”話機，能保證對聲音質量的良好處理。 其次，“通”資源，在硬件通的基礎上配備與之相適應的信息化教學資源。 硬件建設的目的就是要提供信息化的資源。資源是學習內容的數字化表征，是信息化教學及其應用的基礎。不同的硬件設備，與之相適的資源種類不同，資源來源也不盡相同。 最后“通”方法，即利用信息化資源和設備開展教學活動。 讓每一個班級、每一位教師、每一門學科的每一堂課，盡量做到日常化應用信息化設備與資源，實現信息技術與學科教學的常態化和有效地整合，即在合適的時間運用恰當的技術完成教學任務和學習任務，切實變革教師的教學方式和學生的學習方式。“通”方法不僅僅指課堂信息化有效教學，凡是與教育教學直接相關的信息化有效應用都可以作為其表現形式，比如，網絡環境下教師專業發展、集體研究、協作電子備課、數字化學習型學校建設、家校互聯等。由此可見“通”方法才是“班班通”最后落腳點，其本質是打造教師和學生在信息化環境下的數字化生存方式，其目的是促進教師專業發展和學生成長。 “班班通”不是用信息技術完全取代傳統的課堂教育模式，它與“黑板+粉筆”的教學模式必將在相當長的一段時期內共同存在，相互補充，相得益彰。“班班通”也并不是說不管情況如何每堂課必須使用信息技術，而是應該用的課讓教師和學生都能夠用得上。如何實現“班班通”，并與教學實踐完美結合，做到收放自如，讓信息技術最終有一天變成必不可缺的“黑板+粉筆”，需要每一位教育工作者的教學智慧與機智。