一種芯片拾放裝置
本發(fā)明提供了一種芯片拾放裝置,包括芯片吸附組件、凸輪傳動(dòng)組件、Z 向驅(qū)動(dòng)組件、氣隙軸承、氣緩沖組件和 W 旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)組件;凸輪傳動(dòng)組件包括相接的凸輪桿和凸輪,凸輪桿的上端連接 Z 向驅(qū)動(dòng)組件,用于帶動(dòng)固定在凸輪內(nèi)部的芯片吸附組件沿 Z 軸上下移動(dòng);氣緩沖組件安裝于凸輪內(nèi)部,用于吸收芯片吸附組件受到的沖擊力;W旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)組件連接于芯片吸附組件的側(cè)面,用于驅(qū)動(dòng)芯片吸附組件沿W 向旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng);氣隙軸承位于芯片吸附組件的外部且套放于氣緩沖組件的下端,通過向氣隙軸承的內(nèi)、外圈間導(dǎo)入氣體使得軸承內(nèi)圈為懸浮狀態(tài),從而輔
華中科技大學(xué)
2021-04-14