一種精密主動減振裝置
本發(fā)明提供了一種結(jié)構(gòu)緊湊、集成度高的精密主動減振裝置,它適用于需要進(jìn)行微幅振動抑制的小質(zhì)量精密加工(測量)設(shè)備。該裝置主要包括既能感受振動又能對振動進(jìn)行抑制的壓電塊結(jié)構(gòu)、壓電塊提供垂向預(yù)壓力的折疊彈簧以及提供垂向被動隔振的柔性鉸鏈。其中,壓電塊可以采用垂直布置,也可以采用 45 度傾斜布置,采用傾斜布置的壓電塊結(jié)構(gòu)可以同時測量和抑制水平向振動和垂向振動。另外,一種實現(xiàn)水平面隔振的減振裝置可以提供 360 度水平面的振動隔離,其內(nèi)部采用線切割加工出螺旋線形槽。水平面隔振減振裝置與垂向精密主動減振裝置結(jié)
華中科技大學(xué)
2021-01-12