成果簡介:所研制的微小型零件顯微視覺檢測系統,適用于各種塊類、板類微小型零件及小模數微小型直齒輪的任意邊緣的微米級精度測量和微結構在線快速測量。
技術指標:X/Y方向測量范圍:0.01mm-50mm;Z方向測量范圍:0.01mm-100mm;X/Y方向位置檢測分辨率:0.05?m;X/Y方向測量精度:(1+1000/L)?m;可進行模數≤0.2mm微小型模數直齒輪的基本參數、幾何尺寸、主要單項誤差和綜合誤差測量。榮獲國防科技進步三等獎1項,兵器科技進步一等獎1項,申請發明專利1項。
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