一種適用于柔性電子制備的多功能氣壓控制系統(tǒng)
本發(fā)明公開了一種適用于柔性電子制備的多功能氣壓控制系統(tǒng), 其包括氣源調(diào)節(jié)單元、信號處理單元和信號反饋單元,氣源調(diào)節(jié)單元·115·包括氣源組件、電磁閥組件、電控調(diào)壓閥組件和氣壓輸出口,氣源依 次經(jīng)過氣源組件、電磁閥組件和電控調(diào)壓閥組件,并由氣壓輸出口輸 出;信號處理單元包括信號處理器、電磁閥控制器和調(diào)壓閥控制器, 信號處理器用于處理控制信號,電磁閥控制器用于控制氣路的通斷, 調(diào)壓閥控制器用于調(diào)節(jié)氣壓;信號反饋單元包括溫度傳感器和氣壓傳 感器組件,其用于將氣壓校正值反饋給信號
華中科技大學(xué)
2021-04-14