旋轉(zhuǎn)器件型光譜橢偏儀系統(tǒng)參數(shù)校準(zhǔn)方法
本發(fā)明公開了一種用于旋轉(zhuǎn)器件型光譜橢偏儀系統(tǒng)參數(shù)的校準(zhǔn)方法,該方法可以在一次測量中獲取旋轉(zhuǎn)器件型光譜橢偏儀中全光譜范圍的系統(tǒng)參數(shù),其方法是將任意厚度的標(biāo)準(zhǔn)樣件作為待測樣件,使用待校準(zhǔn)光譜橢偏儀進(jìn)行測量,對(duì)測量獲得的光強(qiáng)諧波信號(hào)進(jìn)行傅里葉分析,通過傅里葉系數(shù)序列計(jì)算獲取第一個(gè)波長點(diǎn)的系統(tǒng)參數(shù),以其作為初值,采用非線性回歸算法,通過理論光譜擬合測量光譜,獲得第一個(gè)波長點(diǎn)的系統(tǒng)參數(shù)。并依次以校準(zhǔn)獲得的第 i 個(gè)波長點(diǎn)的系統(tǒng)參數(shù)作為初值,擬合獲得第 i+1 個(gè)波長點(diǎn)的系統(tǒng)參數(shù),進(jìn)而獲得全光譜范圍的系統(tǒng)參數(shù)。
華中科技大學(xué)
2021-04-14