硅基微機械懸臂梁耦合直接加熱在線式毫米波相位檢測器
本發明的硅基微機械懸臂梁耦合直接加熱在線式毫米波相位檢測器,實現結構包括懸臂梁耦合結構、功率合成/分配器和直接加熱式微波功率傳感器。懸臂梁耦合結構左右對稱,兩個懸臂梁在CPW中央信號線上方,結構相同,用于耦合部分待測信號,通過錨區與功率合成器相連,兩個懸臂梁之間CPW傳輸線的電長度為λ/8。懸臂梁下方的CPW中央信號線上覆蓋了一層Si3N4介電層,用于防止電學短路。參考信號通過功率分配器分成兩路信號,分別與兩路懸臂梁耦合的信號通過功率合成器合成,功率合成器的輸出端連接到直接加熱式微波功率傳感器進行功
東南大學
2021-04-14