一種基于紅外成像的薄膜測厚儀
本發明公開了一種基于紅外成像的薄膜測厚儀,包括光源、準直透鏡、分光棱鏡、參考路散射玻璃、參考路紅外濾光片、參考路反射鏡、測量路散射玻璃、測量路紅外濾光片、測量路反射鏡、半透半反分光鏡、成像透鏡、CCD;測量時參考物經反射鏡、分光鏡和成像透鏡成像到 CCD 光敏面,被測物經反射鏡和成像透鏡也成像到 CCD光敏面,CCD 將圖像傳送至計算機,經圖像處理后根據圖像的灰度值求得被測物的厚度;如此形成雙光路測量系統,避免了光源光強變化的影響;使用散射光透射成像的測量體系,避免了傳統紅外測厚裝置中存在的干涉影響
華中科技大學
2021-04-14