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一種高功率大帶寬鍺
硅
光電探測器
本發明公開了一種高功率大帶寬鍺硅光電探測器。該探測器是 模擬光子通信系統和微波光子系統中的硅基關鍵集成光電子器件,其 特征在于包括多個并聯鍺層結構和電感。多個并聯的鍺層結構的多個 鍺層尺寸是可以不同的,以實現對寄生電阻的調控,在提高器件飽和 功率的同時保持了寄生參數不至顯著增加。同時,通過引入片上和片 外電感,實現對器件寄生電感的調控,抬升器件高頻處頻率響應,提 升器件工作帶寬。本發明提出的光電探測器采用集總電極結構
華中科技大學
2021-04-14
一種加工
硅
通孔互連結構的工藝方法
本發明公開了一種加工硅通孔互連結構的工藝方法,步驟為:①在基板上刻蝕盲孔;②在基板上沉積一層圖案化介電質層;③刻蝕圖案化介電質層,刻蝕掉盲孔底部的介電材料,保留盲孔側壁的介電材料,在基板上形成介電質孔;④在介電質孔上沉積一層導電材料,形成導電孔;⑤在導電層上再沉積一層圖案化介電質層,填充導電孔;⑥刻蝕板背面,暴露出導電層,在導電層上形成焊料微凸點。圖案化介電質層的材料優選聚對二甲苯。本發明簡化了工藝步驟,減少工藝時間并降低了費用;使用二層圖案化介電質層,降低了寄生電容,提升了互連電性能,適用于高速和
華中科技大學
2021-04-14
鍺
硅
納米低維結構的可控制備方法及產品
本發明公開了一種鍺硅納米低維結構可控制備方法及產品,該 方法具體為:(a)清洗硅襯底;(b)在硅襯底上外延生長鍺硅合金形成外 延襯底;(c)涂敷電子抗蝕劑,通過電子束光刻技術在電子抗蝕劑上曝 光所需的鍺硅納米低維結構圖形;(d)采用干法刻蝕將鍺硅納米低維結 構圖形轉移到外延襯底上得到樣品;(e)去除樣品上的電子抗蝕劑;(f) 高溫環境下進行氧化和退火,使得氧氣優先與硅反應形成氧化硅而鍺 被析出;(g)在氮氫混合氣氛下
華中科技大學
2021-04-14
微型皮拉尼計與體
硅
器件集成加工的方法
本發明公開了一種微型皮拉尼計與體硅器件集成加工的方法。集成加工的方法包括:在硅基片正面制備體硅器件所需的絕緣層及電路引線;在硅基片的背面或正面沉積一層絕緣隔熱材料,刻蝕去除其四周部分得到絕緣隔熱層;在絕緣隔熱層上制備加熱體和電極;在沒有加熱體的一面制備圖形化的光刻膠掩膜;在有加熱體的一面沉積金屬膜;將金屬膜粘貼在表面有氧化層的硅托片上;對有光刻膠掩膜的一面進行感應耦合等離子體干法刻蝕,刻穿硅基片;去除光刻膠掩膜和金屬膜,得到集成結構。本發明能有效提高皮拉尼計的制備與其它工藝的兼容性,解決皮拉尼計與體
華中科技大學
2021-04-14
一種基于
硅
基液晶的偏振檢測系統及方法
本發明公開了一種基于硅基液晶的偏振檢測系統及方法,所述 偏振檢測系統包括檢偏器、光探測器、硅基液晶驅動模塊、控制單元 和用于相位調制的硅基液晶,硅基液晶在硅基液晶驅動模塊的驅動下 對待測光進行相位調節,獲取一系列偏振光,通過對這一系列偏振光 的分析獲取待測光的偏振信息,包括豎直方向與水平方向的振幅及相 位差。本發明的系統在精確可編程控制下,進行偏振態檢測與控制, 不受類似于波片的波長敏感性制約;且本發明采用硅基液晶進
華中科技大學
2021-04-14
耐超低溫有機
硅
密封膠生產技術
航空航天器、飛機、導彈、火箭、超低溫冷凍機、極寒冷地區工程機械和高速列車等設備,在極低溫度條件下運行時,對密封材料要求很高,一旦出現密封效果不佳或不可靠情況,會出現嚴重后果,極端情況會造成機毀人亡等重特大事故,形成嚴重的財產和人員損失。密封材料大多采用有機高分子材料,在低溫條件下,密封材料中分子熱運動減少,分子鏈段會變得僵硬甚至凍住,使之失去彈性,導致密封效果差甚至失去密封作用。因此密封材料應用于上述設備和地域時,必須采用特殊制備的耐低溫硅橡膠才能保證安全及設備的穩定運行。這就要求密封材料必須具備
山東大學
2021-04-14
新一代硅烷法電子級晶體
硅
生產技術
上海交通大學
2021-04-13
承建丙烯酸涂料,
硅
PU塑膠藍、排、網、羽球場
產品詳細介紹承建丙烯酸涂料,硅PU塑膠藍、排、網、羽球場
廣州市奧力生體育設施有限公司
2021-08-23
重慶市人民政府辦公廳 關于印發《促進2025年高校畢業
生
等青年 留渝來渝就業創業工作方案》的通知
《促進2025年高校畢業生等青年留渝來渝就業創業工作方案》
重慶市人民政府
2025-03-05
中共中央辦公廳 國務院辦公廳關于加快構建普通高等學校畢業
生
高質量就業服務體系的意見
加快構建高校畢業生高質量就業服務體系,暢通教育、科技、人才良性循環。
新華社
2025-04-08
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