一種復合波片光軸對準方法及裝置
本發明公開了一種復合波片光軸對準方法及裝置。將待對準復合波片的兩片晶片裝在支架上之后分別安裝在固定、旋轉波片卡盤上;從光源發出的光經過起偏器后形成線偏振光;通過待對準的復合波片后,線偏振光偏振態發生變化;根據探測器探測到的透射光強信號可進一步獲得待對準復合波片相位延遲波動量的變化幅值;比較相位延遲波動量的變化幅值的相對大小;通過電控旋轉臺控制旋轉波片卡盤轉動,直至將復合波片的光軸對準到所要求的精度范圍內。裝置包括光源,起偏器,固定波片卡盤,旋轉波片卡盤,旋轉檢偏器,探測器,電控旋轉臺,計算機,步進電機和電控旋轉臺控制器。該方法可以實現對復合波片光軸進行高精度對準,裝置簡易,操作簡單。
華中科技大學
2021-04-11