面向物聯(lián)網(wǎng)的砷化鎵基具有熱電轉(zhuǎn)換功能的MESFET器件
本發(fā)明提供的一種面向物聯(lián)網(wǎng)的砷化鎵基具有熱電轉(zhuǎn)換功能的MESFET器件,主要包括MESFET和熱電偶。MESFET選擇半絕緣的GaAs作為襯底,通過(guò)GaAs工藝和MEMS表面微機(jī)械加工實(shí)現(xiàn)具有能量轉(zhuǎn)換功能的MESFET。在源漏柵的金層四周制作一層二氧化硅,化學(xué)機(jī)械拋光后,制作熱電偶的金屬Au型熱電臂和砷化鎵型熱電臂,蒸金連接兩種熱電偶臂,將源漏柵的熱電偶電極進(jìn)行金屬連線,留下兩個(gè)熱電偶電極作為塞貝克電壓的輸出極。該砷化鎵基具有熱電轉(zhuǎn)換功能的MESFET器件根據(jù)塞貝克效應(yīng),可以將器件工作產(chǎn)生的熱能轉(zhuǎn)換為電能,實(shí)現(xiàn)能量收集的同時(shí)緩解了散熱問(wèn)題。通過(guò)檢測(cè)輸出塞貝克電壓的大小來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)熱耗散功率大小的檢測(cè)。
東南大學(xué)
2021-04-11