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氧化銦錫（indium-tin-oxide）簡稱ITO，ITO靶材是一種功能陶瓷材料，主要用于制造ITO透明導電膜玻璃。以金屬銦、錫為原料采用共沉淀法制備出納米級ITO復合粉體。粉體造粒成型后分別采用加壓和常壓燒結法制備出相對理論密度大于99.5%、氧化銦單一相的ITO靶材。 粉體純度大于99.99%、顆粒分散性好，粒徑10nm—80nm之間可控，BET比表面積30~60m2/g ，In2O3:90.0±0.5%，SnO2: 10.0±0.5%；ITO靶材相對理論密度99.5%。 威海市藍狐特種材料有限公司已采用該技術建設年產20噸納米級氧化銦錫復合粉體生產線，采用該粉體燒制的ITO靶材相對理論密度達到99%以上。國內相對理論密度大于99%的ITO靶材主采用進口產品。 金屬銦、錫是我國的優勢資源，生產設備都是定型通用設備，年產20噸納米級氧化銦錫粉體和高密度ITO靶材的生產廠需要人員50名。納米級氧化銦錫粉體制備已建設年產20噸生產線。高密度ITO靶材的制備已完成實驗室小試。

一種用于預測多元拼合靶材制備的薄膜成分的預測方法 一、項目分類 顯著效益成果轉化 二、成果簡介 現有物理氣相沉積（PVD）制備多元薄膜材料采用合金靶材作為靶源，生產過程中，薄膜成分的調控范圍受安裝的合金靶材的成分比例的限制。如果預期獲得納微復雜結構的復合薄膜，按照常規技術路線需要上百塊成分連續變化的合金靶材，這顯然是無法實現的。同時，采用合金靶材制備某些多元薄膜時，需要特高純度的或極端成分比例的靶材作為靶源，這類特殊靶材以現有技術難以制造。 為此，本發明研發出一種用于預測多元拼合靶材制備的薄膜成分的預測方法，利用本發明技術有助于新材料的研發和促進半導體器件、切削刀具涂層等高新技術的發展。

本發明涉及金屬材料加工技術領域，具體涉及一種高擇優取向細晶超高純鋁靶材的制備方法。包括以下步驟：將超高純鋁板材于５０℃～３００℃下熱軋，道次壓下量控制在４０％～５０％；將熱軋后的超高純鋁板材在１００～３００℃溫度下保溫０～１小時；然后進行冷軋，道次壓下量控制在４０％～５０％，通過對板材進行道次間空冷、水冷以及冰水冷卻控制板材軋制過程的溫升，抑制板材的

1、主要功能和應用領域： 本設備由多通道圖像采集模塊、復雜光學模塊、復雜照明模塊、精密機械運動模塊、分布式大數據分析處理模塊等多個模塊組成。能夠實現對第4.5代以上的液晶顯示器件ITO、銀漿線路的快速檢測并輸出報表。利用高分辨率線陣相機陣列和光源對PET基材的觸摸屏進行成像，并利用計算機圖像處理、模式識別及人工智能的理論與技術，拍攝到的觸摸屏圖像進行研究，通過對各種線路和特征進行特征匹配與邊緣分析，分別檢測上述線路缺陷并自動報告，從而達到在線自動檢測觸摸屏線路缺陷的目的，作為生產線上品質保證的重要方法。 2、特色及先進性： 1）針對ITO材料的高透光率：采用特殊設計的高功率光源和精密光學成像系統，確保能夠采集到圖像清晰、缺陷顯著、ITO線路對比度高的圖片，為算法處理達到不漏檢和低誤檢打下良好基礎。 2）針對ITO線路不規則：由于ITO線路的形式多樣且比較復雜，需要采用樣品和模板配準、像素值直接對比、線路邊緣對比、周期性判斷及DRC方法等算法方案同時進行處理。 3）針對軟材質基板（PET）：由于基板為軟材質，并且基板為600*600 mm的大規格尺寸，采用高精度的光學平臺和自動快速對焦系統，保證大尺寸范圍內圖像采集的清晰度。 4）針對缺陷類型繁多：采取提取局部特征并結合周期性和對比性完成缺陷檢測，針對不同類型的缺陷進行建標以達到較高的檢測效率，通過框選候選(潛在)缺陷位置，采用神經網絡算法進行自主機器學習，不斷匹配各種可能存在的缺陷類型，并結合不同的算法模塊進行檢測，寬進嚴出保證檢測效果。 3、技術指標： ？ 檢測對象： PET和電子玻璃為基板的ITO。 ？ 檢測項目：線路過寬、過窄、多線、線斷、線裂、連線、毛刺、爆點；膜刮痕、導電薄膜異物、氣泡、針孔、凸出、凹陷。 ？ 臺面要求：臺面能滿足檢測600mm×600mm以下尺寸產品。 ？ 檢測精度：能檢測最小線寬間距為20um。 ？ 最大檢測面積：檢測精度為20um時，最大檢測面積是600mm*600mm。 ？ 檢測效率：單張、單次檢測時間小于等于30秒。 ？ 檢測效果：錯報率控制在1%以下,檢出率99%以上。 ？ 設備穩定性：設備至少可5*24小時連續無故障工作。 4、關鍵問題和實施效果 該設備可廣泛應用于觸摸屏行業、LCD行業、太陽能行業和LED行業等領域，可滿足觸摸屏行業需求。以電子玻璃、PET為基板的ITO線路對于最終產品性能的影響是非常顯著的，如線路發生缺陷，則會直接造成產品功能缺陷，而越靠近出貨端檢出缺陷，對于廠家來說修復的成本越高，同時廢品的損失越高。該設備可以在最早的工藝流程上對線路進行檢測，從而整體提高生產廠家的制程控制能力。 該設備采用復雜高分辨率多通道線陣相機陣列進行光學成像，同時配合精密運動平臺實現2.5微米分辨率的圖像采集，其三維組裝圖如下圖所示。

本設備由多通道圖像采集模塊、復雜光學模塊、復雜照明模塊、精密機械運動模塊、分布式大數據分析處理模塊等多個模塊組成。能夠實現對第4.5代以上的液晶顯示器件ITO、銀漿線路的快速檢測并輸出報表。利用高分辨率線陣相機陣列和光源對PET基材的觸摸屏進行成像，并利用計算機圖像處理、模式識別及人工智能的理論與技術，拍攝到的觸摸屏圖像進行研究，通過對各種線路和特征進行特征匹配與邊緣分析，分別檢測上述線路缺陷并自動報告，從而達到在線自動檢測觸摸屏線路缺陷的目的，作為生產線上品質保證的重要方法。

成果簡介： 1、主要功能和應用領域： 本設備由多通道圖像采集模塊、復雜光學模塊、復雜照明模塊、精密機械運動模塊、分布式大數據分析處理模塊等多個模塊組成。能夠實現對第4.5代以上的液晶顯示器件ITO、銀漿線路的快速檢測并輸出報表。利用高分辨率線陣相機陣列和光源對PET基材的觸摸屏進行成像，并利用計算機圖像處理、模式識別及人工智能的理論與技術，拍攝到的觸摸屏圖像進行研究，通過對各種線路和特征進行特征匹配與邊緣分析，分別檢測上述線路缺陷并自動報告，從而達到在線自動檢測觸摸屏線路缺陷的目的，作為生產線上品質保證的重要方法。 2、特色及先進性： ● 針對ITO材料的高透光率：采用特殊設計的高功率光源和精密光學成像系統，確保能夠采集到圖像清晰、缺陷顯著、ITO線路對比度高的圖片，為算法處理達到不漏檢和低誤檢打下良好基礎。 ● 針對ITO線路不規則：由于ITO線路的形式多樣且比較復雜，需要采用樣品和模板配準、像素值直接對比、線路邊緣對比、周期性判斷及DRC方法等算法方案同時進行處理。 ● 針對軟材質基板（PET）：由于基板為軟材質，并且基板為600*600 mm的大規格尺寸，采用高精度的光學平臺和自動快速對焦系統，保證大尺寸范圍內圖像采集的清晰度。 ● 針對缺陷類型繁多：采取提取局部特征并結合周期性和對比性完成缺陷檢測，針對不同類型的缺陷進行建標以達到較高的檢測效率，通過框選候選(潛在)缺陷位置，采用神經網絡算法進行自主機器學習，不斷匹配各種可能存在的缺陷類型，并結合不同的算法模塊進行檢測，寬進嚴出保證檢測效果。 3、技術指標： ● 檢測對象： PET和電子玻璃為基板的ITO。 ● 檢測項目：線路過寬、過窄、多線、線斷、線裂、連線、毛刺、爆點；膜刮痕、導電薄膜異物、氣泡、針孔、凸出、凹陷。 ● 臺面要求：臺面能滿足檢測600mm×600mm以下尺寸產品。 ● 檢測精度：能檢測最小線寬間距為20um。 ● 最大檢測面積：檢測精度為20um時，最大檢測面積是600mm*600mm。 ● 檢測效率：單張、單次檢測時間小于等于30秒。 ● 檢測效果：錯報率控制在1%以下,檢出率99%以上。 ● 設備穩定性：設備至少可5*24小時連續無故障工作。 4、關鍵問題和實施效果 該設備可廣泛應用于觸摸屏行業、LCD行業、太陽能行業和LED行業等領域，可滿足觸摸屏行業需求。以電子玻璃、PET為基板的ITO線路對于最終產品性能的影響是非常顯著的，如線路發生缺陷，則會直接造成產品功能缺陷，而越靠近出貨端檢出缺陷，對于廠家來說修復的成本越高，同時廢品的損失越高。該設備可以在最早的工藝流程上對線路進行檢測，從而整體提高生產廠家的制程控制能力。 該設備采用復雜高分辨率多通道線陣相機陣列進行光學成像，同時配合精密運動平臺實現2.5微米分辨率的圖像采集，其三維組裝圖如下圖所示。

成果與項目的背景及主要用途： Cr-Si 中高阻膜電阻器具有精度高、噪聲低、溫度系數小、耐熱性和穩定性 好等優點，在精密電子設備和混合集成電路中大量采用。對于濺射制備電阻膜來 說，靶材是至關重要的，它制約著金屬膜電阻器的電阻率、精度、可靠性、電阻 溫度系數（Temperature Coefficient of Resistance, TCR）等性能。電阻溫度系數 (TCR)是金屬膜電阻器的一個重要性能技術指標之一，較大的 TCR 在溫度變化時 會造成電阻值漂移，從而影響電阻器的精度和穩定性。目前國內外生產的金屬膜 電阻器用高阻靶材，其性能不能滿足低 TCR（≤25ppm/℃）要求。 技術原理與工藝流程簡介： 靶材煉制工藝如下圖所示所制備的靶材(382 mm ×128 mm ×14 mm)在濺射成電阻器薄膜后, 電阻溫度 系數小(≤25 ×10-6 / ℃), 電阻值高(要求不刻槽數量級為千歐, 刻槽后數量級為 兆歐)且穩定(隨時間變化小), 因此, 在本靶材研究中, 將選擇 Cr 、Si 作為高阻 靶材的主體材料。由于 C r 、Si 熔點高, 原子移動性低, 因此由其所組成的薄膜 穩定性高。通過在金屬 C r 中引入半導體材料 Si 來提高電阻器合金膜的阻值。 C r 是很好的吸收氣體的金屬元素, 在電阻器薄膜濺射過程中, 可通過通入微量 的氧來提高薄膜的電阻率, 同時調節電阻溫度系數。 技術指標如下： 溫度沖擊實驗后 ΔR/R ≤±0 .5 %, 過載實驗后 ΔR/R ≤±0 .5 %, 壽命實驗后 ΔR/R ≤±1 .0 %,電阻溫度系數 TCR ≤±20 ×10-6 / ℃。 應用領域： 集成電路、電子元器件 合作方式及條件：具體面議 2 半導體微環激光器 3 基光電集成電路 4 無線網絡與應用：協作無線網絡 5 移動通信—LTE 技術

一種單分散氧化鎵粉體及其高密度陶瓷靶材的制備方法 發明專利/實用新型/：發明授權 簡介：本發明公開了一種單分散氧化鎵粉體及其高密度陶瓷靶材的制 備方法，其將純度為 99.99％以上的金屬鎵原料溶解于酸中，配制澄清 的鎵鹽溶液，加入沉淀劑產生沉淀物，將獲得的沉淀經洗滌、過濾、 干燥、煅燒制成單分散超細氧化鎵粉體；用合成的單分散氧化鎵粉體 作為原料，經模壓成型和冷等靜壓強化獲得氧化鎵生坯，將生坯放在 高溫爐

成果簡介智能健身游戲拳擊靶將現代電子技術與體育運動器材拳擊靶相結合， 可提供拳擊力度、 頻度、 準確度等參數的測量與顯示， 進行等級評價并語音播報， 避免了傳統訓練時的盲目性和枯燥、 單調性， 可以幫助訓練者合理、 科學地制定健身方案， 提高訓練效率。 適用于職業拳擊手和業余愛好者。設計原理： 在拳擊靶內嵌入一個壓力傳感器， 并采用無線發送壓力傳感器的采集的數據， 交給中央控制器處理、 分析， 計算出拳擊的力度、 平均值、 歷史最高值以及擊打的頻率。 功能選擇按鍵部分，

本實用新型提供一種節材鉛筆，其組成包括筆芯和筆桿，其特征在于，所述的筆芯為筆桿全長的三分 之二，并且放置于筆桿的一端。本實用新型用一定量的木材取代三分之一的筆芯，在一定程度上節約了材 料，屬節材鉛筆。本實用新型成本較低，制造簡單，使用方便，實惠。