新型顯示器件高分辨率噴印制造技術(shù)與裝備
我國(guó)新型顯示產(chǎn)業(yè)規(guī)模和在建產(chǎn)線均居世界第一,但主要核心裝備依賴進(jìn)口,制約我國(guó)新型顯示產(chǎn)業(yè)自主可控發(fā)展。新型顯示器件向大尺寸、超高清、柔性化方向發(fā)展,其面臨的重大挑戰(zhàn)是如何在大面積柔性基板上實(shí)現(xiàn)納米特征-微米結(jié)構(gòu)-米級(jí)器件跨尺度高精度制造。光刻/蒸鍍技術(shù)受限于模板尺寸和平面工藝,傳統(tǒng)噴印受制于打印分辨率低(>20μm),均無(wú)法滿足大尺寸/超高清/柔性化新型顯示高精度/高效率/高可靠制造要求,急需發(fā)明新的制造原理、技術(shù)與裝備。
針對(duì)新型顯示器件高精高效制造國(guó)際難題,本項(xiàng)目原創(chuàng)高分辨率電流體噴印新原理,發(fā)明了電流體噴印新噴頭、新技術(shù)和新裝備,國(guó)際首創(chuàng)多款柔性新型顯示器件并占領(lǐng)高端市場(chǎng)。
目前提出的“拉伸式”高分辨率電流體噴印新原理,實(shí)現(xiàn)<200nm結(jié)構(gòu)的噴印制造,兼具按需點(diǎn)噴、射流直寫、霧化制膜等不同噴射模式,突破了傳統(tǒng)噴墨打印技術(shù)分辨率低、材料適用范圍窄、噴射模式單一的問(wèn)題。
本成果發(fā)明了陣列化獨(dú)立可控電流體噴印系列噴頭、高速視覺測(cè)量裝置等核心裝置與智能控制算法,開發(fā)了國(guó)際首臺(tái)新型顯示電流體噴印裝備。部分核心專利作價(jià)3000萬(wàn)元實(shí)現(xiàn)成果轉(zhuǎn)化,創(chuàng)新技術(shù)支持下開發(fā)的系列裝備在顯示龍頭企業(yè)測(cè)試應(yīng)用,實(shí)現(xiàn)了高分辨率OLED/QLED/PeLED(>300PPI)等新型顯示器件集成制造。
華中科技大學(xué)
2023-04-24