一種具有納米異質復合結構的紫外光探測器及其制備方法
本發明公開了一種基于 TiO2/ZnO 納米異質復合結構的紫外光探 測器結構,其最底層為基底材料,其上為叉指電極,并覆蓋一層 ZnO 薄膜,薄膜之上為 ZnO 納米棒,納米棒表面為 TiO2 納米結構。本發 明還公開了所述紫外光探測器的制備方法:(1)在基底薄片上鍍上金 屬電極形成叉指電極;(2)鍍上 ZnO 薄膜;(3)合成 ZnO 納米棒陣 列;(5)在 ZnO 納米棒表面形成 TiO2 納米結構。本發明的紫外光探 測器在保持 ZnO 紫外探測器超高光電流增益的同時引入 TiO2 納米結 構,形
華中科技大學
2021-01-12