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本發(fā)明公開了一種基于 CMP 的機器人磨拋系統(tǒng)，包括六軸機器人、放置工件的工件夾、對需要拋 光工件進行檢測并三維重構的輪廓檢測單元、帶拋光墊的磨輪、安裝磨輪的基座、以及主控制器，所述 六軸機器人自由端部設有帶伺服電機的電主軸，工件夾上方設有能向工件噴 CMP 拋光液的拋光液噴射 裝置，工件夾安裝在所述電主軸上，所述主控制器控制輪廓檢測單元、六軸機器人、電主軸

本實用新型涉及一種變頻控制的振動磨，特別是一種能產生高振強的多波變正弦曲線變頻控制振動磨， 屬于振動利用工程技術領域。由電源、變頻器、振動磨、傳感器、記錄分析儀組成，變頻器接線一端與電 源相連接，變頻器接線另一端與振動磨的驅動電機相連接；變頻器上可以進行多點頻率的變化輸入，以使 電機的輸入頻率按照設定的規(guī)律變化，從而驅動振動磨系統(tǒng)工作；傳感器依靠磁力置于振動磨磨筒上，傳 感器搭配積分電荷放大器使用，可將檢測的加速度信號及二次積分即振幅信號，傳輸給記錄分析儀，進而可以確定振動磨的振強、振幅變化曲線，便于調整變頻器的變化規(guī)律，進行控制程序編制，對振動磨機實 施變頻控制。

國內外大科學工程研究中如激光聚變，空間光學，天文望遠鏡等，都對大口徑光學元件提出了較大的需求和較高的要求，而國內大口徑光學加工制造能力還遠落后于美國，歐洲等國家。隨著國內對大口徑光學元件的需求越來越大，精度越來越高，口徑越來越大，孔徑也不斷增大，適用于大尺寸、非球面、高效、精密的柔性加工技術已成為制約其發(fā)展和亟待解決的關鍵問題。利用智能化自動化技術生產取代傳統(tǒng)手工低效率研磨已經(jīng)成為必然趨勢。為適應大口徑光學元件的加工，結合現(xiàn)有成熟工業(yè)機器人技術條件，先進制造裝備及控制實驗室開展了多工具柔性磨拋復合加工技術的研究，利用工業(yè)機器人模擬手工研磨鏡面加工技術，通過在末端關節(jié)安裝的專門研發(fā)磨拋工具頭對各型大口徑平面及曲面類光學元件進行高效率研磨加工，還能根據(jù)光學元件面形檢測得出的誤差結果，專門開發(fā)了自主知識產權的軟件能智能化地在光學表面相應的區(qū)域自動選擇修正工具，并自動通過高效疊代算法得出合適的磨拋材料去除函數(shù)，并生成高精度光學表面加工程序，有效地控制加工大口徑光學元件過程中產生的各種誤差，特別是能有效克服“蹋邊問題”，該成套技術不僅能大大提高大口徑光學元件的拋光效率和加工精度，另外與采用精密數(shù)控機床加工相比還能有效降低企業(yè)設備采購與維護成本。 應用領域： 核聚變、空間光學、天文光學望遠鏡、光學鏡頭等涉及光學元件制造行業(yè) 技術指標： ？ 實現(xiàn)直徑1米的大口徑光學元件磨拋加工； ？ 直徑500mm的平面反射鏡有效口徑范圍面形精度達到PV=0.387λ、rms=0.063λ。

國內外大科學工程研究中如激光聚變，空間光學，天文望遠鏡等，都對大口徑光學元件提出了較大的需求和較高的要求，而國內大口徑光學加工制造能力還遠落后于美國，歐洲等國家。隨著國內對大口徑光學元件的需求越來越大，精度越來越高，口徑越來越大，孔徑也不斷增大，適用于大尺寸、非球面、高效、精密的柔性加工技術已成為制約其發(fā)展和亟待解決的關鍵問題。利用智能化自動化技術生產取代傳統(tǒng)手工低效率研磨已經(jīng)成為必然趨勢。為適應大口徑光學元件的加工，結合現(xiàn)有成熟工業(yè)機器人技術條件，先進制造裝備及控制實驗室開展了多工具柔性磨拋復合加工技術的研究，利用工業(yè)機器人模擬手工研磨鏡面加工技術，通過在末端關節(jié)安裝的專門研發(fā)磨拋工具頭對各型大口徑平面及曲面類光學元件進行高效率研磨加工，還能根據(jù)光學元件面形檢測得出的誤差結果，專門開發(fā)了自主知識產權的軟件能智能化地在光學表面相應的區(qū)域自動選擇修正工具，并自動通過高效疊代算法得出合適的磨拋材料去除函數(shù)，并生成高精度光學表面加工程序，有效地控制加工大口徑光學元件過程中產生的各種誤差，特別是能有效克服“蹋邊問題”，該成套技術不僅能大大提高大口徑光學元件的拋光效率和加工精度，另外與采用精密數(shù)

成果簡介： 國內外大科學工程研究中如激光聚變，空間光學，天文望遠鏡等，都對大口徑光學元件提出了較大的需求和較高的要求，而國內大口徑光學加工制造能力還遠落后于美國，歐洲等國家。隨著國內對大口徑光學元件的需求越來越大，精度越來越高，口徑越來越大，孔徑也不斷增大，適用于大尺寸、非球面、高效、精密的柔性加工技術已成為制約其發(fā)展和亟待解決的關鍵問題。利用智能化自動化技術生產取代傳統(tǒng)手工低效率研磨已經(jīng)成為必然趨勢。為適應大口徑光學元件的加工，結合現(xiàn)有成熟工業(yè)機器人技術條件，先進制造裝備及控制實驗室開展了多工具柔性磨拋復合加工技術的研究，利用工業(yè)機器人模擬手工研磨鏡面加工技術，通過在末端關節(jié)安裝的專門研發(fā)磨拋工具頭對各型大口徑平面及曲面類光學元件進行高效率研磨加工，還能根據(jù)光學元件面形檢測得出的誤差結果，專門開發(fā)了自主知識產權的軟件能智能化地在光學表面相應的區(qū)域自動選擇修正工具，并自動通過高效疊代算法得出合適的磨拋材料去除函數(shù)，并生成高精度光學表面加工程序，有效地控制加工大口徑光學元件過程中產生的各種誤差，特別是能有效克服“蹋邊問題”，該成套技術不僅能大大提高大口徑光學元件的拋光效率和加工精度，另外與采用精密數(shù)控機床加工相比還能有效降低企業(yè)設備采購與維護成本。 應用領域： 核聚變、空間光學、天文光學望遠鏡、光學鏡頭等涉及光學元件制造行業(yè) 技術指標： 實現(xiàn)直徑1米的大口徑光學元件磨拋加工； 直徑500mm的平面反射鏡有效口徑范圍面形精度達到PV=0.387λ、rms=0.063λ。