一種同時(shí)制備石墨烯和多孔非晶碳薄膜的方法
本發(fā)明公開了一種同時(shí)制備石墨烯和多孔非晶碳薄膜的方法,包括 S1 對(duì)金屬鎳片襯底進(jìn)行超聲清洗,并烘干后放置于管式爐中;S2向管式爐中通入惰性氣體;S3 對(duì)管式爐進(jìn)行升溫處理使其達(dá)到750℃~1000℃并保持 10 分鐘~50 分鐘,向管式爐中通入氫氣,并對(duì)金屬鎳片襯底進(jìn)行熱處理;S4 向管式爐中通入流量為 20sccm~100sccm 的碳?xì)浠衔铮沟媒?jīng)過熱處理后的金屬鎳片襯底催化碳?xì)浠衔锪呀庖约版嚻芴己笸瑫r(shí)生長石墨烯和非晶碳薄膜;S5 對(duì)管式爐進(jìn)行降溫處理,并將生長有石墨烯和非晶碳薄膜的鎳片
華中科技大學(xué)
2021-04-14