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半導體設備超潔凈流控系統及其受制約流控零部件
浙江大學聚焦超潔凈流控系統基礎研究、技術攻關和產品研發，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關鍵核心技術
一、項目分類
關鍵核心技術突破
二、技術分析
如何通過超潔凈流控技術降低流控污染，減少曝光缺陷，提升曝光良率，是國產高端半導體制造裝備研制面臨的重大挑戰，直接關乎整機產品的產線應用性能與市場競爭力。此外，作為各類半導體制造裝備的共性核心零部件，超潔凈流控部件市場被美國、日本等國壟斷，使我國半導體制造裝備產業面臨核心零部件“卡脖子”風險。浙江大學流體動力與機電系統國家重點實驗室啟爾團隊所承擔的高端半導體制造裝備核心分系統之一的超潔凈流控系統，自2004年以來在國家863計劃和國家02專項支持，聚焦超潔凈流控系統基礎研究、技術攻關和產品研發，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關鍵核心技術，完成了超潔凈流控系統九大組件的研制和集成測試，為半導體制造設備掃描速度與產能的提高提供基礎理論與方法依據，同時自主研發的半導體機臺核心超潔凈流控零部件實現了產品化，突破了國外技術的封鎖，為我國半導體制造的發展與自主創新提供了基礎支撐。
浙江大學
2022-07-22
一次性防飛濺隔離巾
“一次性防飛濺隔離巾”由上海交通大學醫學院附屬第九人民醫院發明，該隔離巾由防護材料和透明材料等組合而成，預設有兩對袖套式操作口，既能保證良好的視野，又提供了一定的操作自由度，方便醫護人員實施臨床治療，可顯著降低手術和操作過程中的感染暴露風險，以滿足醫護人員的安全防護要求。在臨床資源有限的情況下，比如目前與新冠肺炎的戰斗中，可以有效地為醫護人員提供額外的安全防護，提高手術和操作的可行性，大大減少院感風險。一次性防飛濺隔離巾樣品醫務人員研究改進一次性防飛濺隔離巾 上海交通大學醫學院附屬第九人民醫院組織耳鼻咽喉頭頸外科王珮華主任醫師、汪照炎主任醫師和急診科徐兵主任醫師等相關學科的專家對該項目進行專業分析和可行性評估，并進行細節改進，立項“手術防飛濺隔離操作系列裝置”創新項目。九院成果轉化辦公室成立應急小組，分別從原型設計、專利布局、專利申請、產品合規、產業對接等方面制定系統推進方案，各項細節同步實施。2月21日該系列裝置完成四項發明和實用新型專利的申請，技術市場迅速形成推文，并于當天將九院抗疫發明的企業對接需求發布出去。在臨床醫療救治中，有部分操作會有血液、痰液導致的氣溶膠污染，容易導致醫護人員發生暴露性感染風險，比如氣管切開、肺結核患者的胸部手術、呼吸管口換管、吸痰等。即使有帽子、口罩、防護鏡等個人安全防護配備，也很難防止氣溶膠短時間在局部氣流中的傳播。在2003年的SARS和本次新冠肺炎的診治過程中，有很多醫護人員的感染就是因為直接面對飛濺液體和氣溶膠。該系列裝置適用于基層醫院或緊急場景、生物安全防護條件不足的情況下醫務人員實施緊急操作。
上海交通大學
2021-04-10
帶有防咬手結構的水貂飼養裝置
本實用新型公開一種帶有防咬手結構的水貂飼養裝置，包括網格狀的外殼，外殼圍成飼養水貂的空間，外殼上安裝門結構，所述門結構包括門框和門體，門體安裝在門框上，門框的周邊形成防咬面，門體和門框之間的控制門體開合的連接部安裝在防咬面上，在外殼上設置一獨立的門框，該門框帶有防咬面，門體的開合的連接部安裝在防咬面上，因為防咬面可以阻擋水貂的嘴部伸出，人手操控的連接部又安裝在防咬面上，水貂的嘴部無法接觸人手，所以避免了打開或關閉門體時，人手遭受水貂突然襲擊的風險。
青島農業大學
2021-04-11
黃泥漿添加凝膠防遺煤自燃材料
黃泥漿添加凝膠防遺煤自燃材料，結合了黃泥灌漿的廣泛性和膠體的防滅火性，研制了一種低成本并且滅火性能好的新型礦井采空區防滅火材料。其材料配比為：水土比是 1：4，基料用量 4%，促凝劑用量 5%，高分子用量 0.75‰，其中， 凝膠由基料、促凝劑和水組成，基料選用水玻璃，促凝劑選用碳酸氫鈉，高分子添加物為聚丙烯酸鈉。本發明材料含水量高、阻化效果良好、使用安全，成本比純硅酸凝膠的低 25%以上，而且需要的成膠時間越長，用的材料會越少，成本越低，是一種低成本高性能的新型礦井防滅火材料。
北京科技大學
2021-04-13
大型橋梁復合材料防船撞系統
南京工業大學復合材料結構研究所圍繞橋梁、隧道、高速公路等交通基礎設施減緩車輛、船舶撞擊災害的迫切需求，基于纖維增強復合材料耐腐蝕、輕質高強、緩沖性能優異等特點，在國內外首次提出了大型橋梁復合材料防船撞系統的設計理念，申請了2項國際PCT專利，獲8項發明專利授權。建成了潤揚長江大橋等4項防船撞工程，正開展港珠澳大橋等100余項防撞設計。研究所正開展隧道防車撞復合材料路緣、高速公路防車撞護欄、立交橋橋墩防車撞系統、航道船閘防船撞系統等研制工作，已申請4項國家發明專利，有效促進了復合材料防撞系統的系列化與專業化。 目前該項目可進行批量生產。
南京工業大學
2021-04-13
基于 CDMA 的大規模 RFID 防碰撞方法
本發明提出了一種基于 CDMA 的 RFID 防碰撞方法，該方法首先將所有的標簽進行調整分組，然后 以遞歸的方式將碰撞的標簽分組，為標碰撞標簽選擇碼片，然后將標簽數據用正交碼擴頻后發送出去， 并在閱讀器端用相同碼片進行解擴，最后對讀取標簽進行重復和遺漏的核查，該方法可以同時識別多個 標簽，解決了現有的基于 ALOHA 算法和二進制算法方案的不足。
武漢大學
2021-04-13
周界安防系統（BHU-PSecurity-V1）
周界安防系統于2002年開始研制，擔負機場、邊境、小區等重要地點的周界防范和監控任務，是實現重點區域封閉管理安全保衛的重要技術防范措施。系統將敏感電纜布置于圍網、柵欄或墻體上，當翻越者觸動圍網、柵欄或墻體時，敏感電纜及分析裝置會立即發現入侵行為產生報警信號，啟動現場語音廣播和燈光控制等功能。現場控制器將報警信號傳送至控制中心，并在監控電子地圖上顯示告警位置。同時，聯動附近的監控設備自動調較角度，對準入侵目標，并自動切換顯示到在控制站的大屏幕顯示器上。系統還可以對翻越者的行蹤進行記錄，自動生成安全報告。 該成果在2004年和2007年經過兩次升級換代，集成了三維電子地圖和RFID等先進技術，技術上成熟穩定，現已成功應用于香港深圳邊境防偷渡、廣州白云國際機場周界防范和云南省委小區周界安防等系統，隨著經濟的發展，區域安全問題得到日益關注，該系統具有廣闊的應用前景和巨大的經濟價值。項目成果具有自主知識產權，獲國家發明專利授權兩項。
北京航空航天大學
2021-04-13
一種新型高樓火災防墜器
本發明公開了一種新型高樓火災防墜器，包括：夾緊裝置、調速制動裝置，所述調速制動裝置通過繩索與所述夾緊裝置相連；所述夾緊裝置設置連接螺桿連接內夾板、外夾板，通過操作鎖緊手柄和二次緊固螺釘夾緊；所述調速制動裝置設置偏心輪和制動V形桿，所述偏心輪通過調速螺釘調整偏心位置，進而調節控制下墜速度；所述制動V形桿通過制動開關限位固定，進而實現逃生下墜停止或開啟。本發明使用安全可靠,結構合理，安裝快捷，調速方便，自鎖迅速，適于高樓居民使用，可作為高樓火災自救裝置，實現火災被困人員的安全快速逃生。
長沙理工大學
2021-01-12
防開裂藥丸密封蠟產品生產技術
在醫藥工業中，藥丸密封用蠟一直使用蜂蠟調配物。蜂蠟價格高、來源有限，往往摻假非常嚴重，很難買到純度達到要求的蜂蠟產品。由于蜂蠟純度不定，產品中蜂蠟配比無法控制，造成所制得的藥丸用密封蠟的產品質量沒有保證。藥丸用密封蠟產品的硬度小、韌性差，導致藥丸易開裂或壓碎，達不到藥丸密封用蠟的防水防潮作用。尤其在醫藥出口貿易中，由于出現上述問題，對方不認可藥丸的質量，要求退賠，造成很大的經濟損失，而且不可避免地給我國醫藥工業的信譽造成影響。鑒于上述情況，我們經多年的研究，研制出了新型藥丸用密封蠟。這種藥丸用密封蠟
北京理工大學
2021-01-12
一種開啟車門的防碰撞系統
本實用新型公開了一種開啟車門的防碰撞系統（申請號:CN201520909632.X）, 包括超聲波探測器、車速傳感器、中央控制模塊、聲音報警器、車門提示燈和車 門鎖機構，所述超聲波探測器安裝在車輛后視鏡上，并通過信號線與中央控制模 塊輸入端連接，所述車速傳感器采集本車的速度并通過信號線與中央控制模塊輸 入端連接，所述車門提示燈設置在車門的門內側后部，所述中央控制模塊的輸出 端與聲音報警器、車門提示燈以及車門鎖機構連接。所述中央控制模塊具有延時 開關。本實用新型能夠有效避免車門打開時與行人發生碰撞的情況。投資條件 10萬和預期經濟收益500萬、合作滅技柄上,技術合作開發等。
西南大學
2021-04-13