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機(jī)械產(chǎn)品性能預(yù)測(cè)技術(shù)是在虛擬樣機(jī)技術(shù)基礎(chǔ)上，結(jié)合產(chǎn)品的特點(diǎn)和要求，在產(chǎn)品的設(shè)計(jì)階段就對(duì)產(chǎn)品的性能進(jìn)行預(yù)測(cè)。汽車(chē)動(dòng)力學(xué)仿真研究所現(xiàn)有成熟的產(chǎn)品性能預(yù)測(cè)技術(shù)有：1．剛度，強(qiáng)度及承載能力預(yù)測(cè)；2．疲勞性能預(yù)測(cè)；3．固有頻率，模態(tài)及動(dòng)態(tài)響應(yīng)分析； 4．撞擊性能預(yù)測(cè)；5．溫度場(chǎng)，熱應(yīng)力場(chǎng)分析；6．汽車(chē)整車(chē)性能分析；7．建模造型技術(shù)。

本發(fā)明公開(kāi)了一種機(jī)床錐配合固定結(jié)合部的動(dòng)力學(xué)建模及模型參數(shù)識(shí)別的方法，該方法建立了一種 32 節(jié)點(diǎn)的刀柄-主軸結(jié)合部動(dòng)力學(xué)模型，其中 1～8、9～16、17～24、25～32 均為等分點(diǎn)，錐配合結(jié)合部單元的運(yùn)動(dòng)則通過(guò) 1 點(diǎn)和 17 點(diǎn)、2 點(diǎn)和 18、3 點(diǎn)和 19 點(diǎn)、......16點(diǎn)和 32 點(diǎn)之間的相對(duì)運(yùn)動(dòng)體現(xiàn)出來(lái)?；谀B(tài)實(shí)驗(yàn)，本發(fā)明以頻響矩陣與阻抗矩陣的乘積是單位矩陣這一理論特性，將實(shí)驗(yàn)的頻響矩陣和有限元理論得到的子結(jié)構(gòu)的剛度矩陣、質(zhì)量矩陣相結(jié)合，通過(guò)初值試湊的方法，運(yùn)用非線性最小二乘

浙江大學(xué)聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎(chǔ)研究、技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā)，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產(chǎn)率的1mk級(jí)溫度測(cè)控、5ppt級(jí)金屬離子測(cè)控、20μm級(jí)氣泡測(cè)控、50nm級(jí)殘留液膜測(cè)控等關(guān)鍵核心技術(shù) 一、項(xiàng)目分類(lèi) 關(guān)鍵核心技術(shù)突破 二、技術(shù)分析 如何通過(guò)超潔凈流控技術(shù)降低流控污染，減少曝光缺陷，提升曝光良率，是國(guó)產(chǎn)高端半導(dǎo)體制造裝備研制面臨的重大挑戰(zhàn)，直接關(guān)乎整機(jī)產(chǎn)品的產(chǎn)線應(yīng)用性能與市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。此外，作為各類(lèi)半導(dǎo)體制造裝備的共性核心零部件，超潔凈流控部件市場(chǎng)被美國(guó)、日本等國(guó)壟斷，使我國(guó)半導(dǎo)體制造裝備產(chǎn)業(yè)面臨核心零部件“卡脖子”風(fēng)險(xiǎn)。浙江大學(xué)流體動(dòng)力與機(jī)電系統(tǒng)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室啟爾團(tuán)隊(duì)所承擔(dān)的高端半導(dǎo)體制造裝備核心分系統(tǒng)之一的超潔凈流控系統(tǒng)，自2004年以來(lái)在國(guó)家863計(jì)劃和國(guó)家02專(zhuān)項(xiàng)支持，聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎(chǔ)研究、技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā)，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產(chǎn)率的1mk級(jí)溫度測(cè)控、5ppt級(jí)金屬離子測(cè)控、20μm級(jí)氣泡測(cè)控、50nm級(jí)殘留液膜測(cè)控等關(guān)鍵核心技術(shù)，完成了超潔凈流控系統(tǒng)九大組件的研制和集成測(cè)試，為半導(dǎo)體制造設(shè)備掃描速度與產(chǎn)能的提高提供基礎(chǔ)理論與方法依據(jù)，同時(shí)自主研發(fā)的半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)核心超潔凈流控零部件實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)品化，突破了國(guó)外技術(shù)的封鎖，為我國(guó)半導(dǎo)體制造的發(fā)展與自主創(chuàng)新提供了基礎(chǔ)支撐。