藍(lán)寶石襯底拋光液及應(yīng)用
一、 項(xiàng)目簡(jiǎn)介本項(xiàng)目是為了解決光電器件最好襯底材料之一藍(lán)寶石襯底材料拋光液在拋光過程中存在的襯底片表面去除速率低、粗糙度高、易劃傷等問題,而研發(fā)一種化學(xué)作用強(qiáng)、去除速率快、表面粗糙度低、無劃傷、成本低,且不污染環(huán)境及腐蝕設(shè)備的藍(lán)寶石襯底材料拋光液及制備方法。本項(xiàng)目采用具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的多功能螯合劑作為pH調(diào)節(jié)劑,同時(shí)又可起到緩沖劑、磨料穩(wěn)定劑、絡(luò)合及螯合的作用,實(shí)現(xiàn)反應(yīng)劑一劑多用,降低成本。二、 項(xiàng)目技術(shù)成熟程度經(jīng)20多家中外企業(yè)使用表明,該拋光液性能穩(wěn)定、速率快,可一次或循環(huán)使用,目前可批量生產(chǎn)和應(yīng)用。三、 技術(shù)指標(biāo)(包括鑒定、知識(shí)產(chǎn)權(quán)專利、獲獎(jiǎng)等情況)加工去除速率>5μm/h,表面粗糙度可降至Ra:0.1~0.3nm。天津市科學(xué)技術(shù)委員會(huì)鑒定結(jié)論:國(guó)際領(lǐng)先,已獲國(guó)家發(fā)明專利授權(quán)6項(xiàng),美國(guó)發(fā)明專利1項(xiàng)。四、 市場(chǎng)前景(應(yīng)用領(lǐng)域、市場(chǎng)分析等)隨著光電技術(shù)的飛速發(fā)展,光電產(chǎn)品對(duì)藍(lán)寶石襯底需求量日益增加,開發(fā)新型的拋光液及拋光技術(shù),提高光電器件用襯底加工質(zhì)量,以推進(jìn)冷光源的應(yīng)用進(jìn)程及節(jié)能減排的有效實(shí)施,并可用于國(guó)防、儀器儀表、紅外窗口等領(lǐng)域,因此,市場(chǎng)前景廣泛,也可為國(guó)家光電子工業(yè)發(fā)展起到很好的促進(jìn)作用。五、 規(guī)模與投資需求(資金需求、場(chǎng)地規(guī)模、人員等需求)年產(chǎn)量5000噸的生產(chǎn)規(guī)模投資為約3000萬元,需千級(jí)以上超凈化廠房。六、 生產(chǎn)設(shè)備低壓真空系統(tǒng)、百級(jí)超凈車間、去離子水系統(tǒng)等七、 效益分析隨著國(guó)家對(duì)節(jié)能減排任務(wù)的提出及對(duì)LED產(chǎn)業(yè)的大力支持,藍(lán)寶石襯底片需求量越來越大,CMP超精密表面加工拋光液的需求量也越來越大,因此此項(xiàng)目具有很大的經(jīng)濟(jì)和社會(huì)效益潛力,價(jià)格僅為進(jìn)口產(chǎn)品的1/3,效益顯著。八、 合作方式以產(chǎn)學(xué)研用的合作模式,把研發(fā)出的產(chǎn)品與技術(shù)轉(zhuǎn)化為生產(chǎn)力,如可提供技術(shù)服務(wù)與支持、經(jīng)銷公司代銷售等。九、 項(xiàng)目具體聯(lián)系人及聯(lián)系方式(包括電子郵箱)劉玉嶺,13602103962,[email protected]十、高清成果圖片2-3張
河北工業(yè)大學(xué)
2021-04-11