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浙江大學(xué)聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎(chǔ)研究、技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā)，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產(chǎn)率的1mk級(jí)溫度測(cè)控、5ppt級(jí)金屬離子測(cè)控、20μm級(jí)氣泡測(cè)控、50nm級(jí)殘留液膜測(cè)控等關(guān)鍵核心技術(shù) 一、項(xiàng)目分類 關(guān)鍵核心技術(shù)突破 二、技術(shù)分析 如何通過超潔凈流控技術(shù)降低流控污染，減少曝光缺陷，提升曝光良率，是國產(chǎn)高端半導(dǎo)體制造裝備研制面臨的重大挑戰(zhàn)，直接關(guān)乎整機(jī)產(chǎn)品的產(chǎn)線應(yīng)用性能與市場競爭力。此外，作為各類半導(dǎo)體制造裝備的共性核心零部件，超潔凈流控部件市場被美國、日本等國壟斷，使我國半導(dǎo)體制造裝備產(chǎn)業(yè)面臨核心零部件“卡脖子”風(fēng)險(xiǎn)。浙江大學(xué)流體動(dòng)力與機(jī)電系統(tǒng)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室啟爾團(tuán)隊(duì)所承擔(dān)的高端半導(dǎo)體制造裝備核心分系統(tǒng)之一的超潔凈流控系統(tǒng)，自2004年以來在國家863計(jì)劃和國家02專項(xiàng)支持，聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎(chǔ)研究、技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā)，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產(chǎn)率的1mk級(jí)溫度測(cè)控、5ppt級(jí)金屬離子測(cè)控、20μm級(jí)氣泡測(cè)控、50nm級(jí)殘留液膜測(cè)控等關(guān)鍵核心技術(shù)，完成了超潔凈流控系統(tǒng)九大組件的研制和集成測(cè)試，為半導(dǎo)體制造設(shè)備掃描速度與產(chǎn)能的提高提供基礎(chǔ)理論與方法依據(jù)，同時(shí)自主研發(fā)的半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)核心超潔凈流控零部件實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)品化，突破了國外技術(shù)的封鎖，為我國半導(dǎo)體制造的發(fā)展與自主創(chuàng)新提供了基礎(chǔ)支撐。

本發(fā)明屬于柔性器件制造相關(guān)領(lǐng)域，并公開了一種具備電場自 適應(yīng)特性的柔性電子電噴印設(shè)備，其包括 XYZ 三軸運(yùn)動(dòng)模塊、電噴印 模塊和可變電場模塊，其中該XYZ三軸運(yùn)動(dòng)模塊用于控制電噴印模塊 與可變電場模塊的空間位置，進(jìn)而控制陣列噴嘴的位置;該電噴印模 塊用于噴出高速帶電溶液到基板上制備柔性電子，該可變電場模塊則 用于提供可變化的電場，進(jìn)而由電場控制陣列噴嘴噴出的液滴或射流 在基板上的落點(diǎn)。本發(fā)明還公開了相應(yīng)的工藝方法。通過本發(fā)明，整 個(gè)柔性電子制造工藝過程可實(shí)現(xiàn)電場的自適應(yīng)協(xié)調(diào)，并

本發(fā)明公開了一種噴嘴噴射獨(dú)立可控的陣列化電流體噴印頭， 包括設(shè)置在陣列化噴嘴與接收板之間的導(dǎo)引電極層，該導(dǎo)引電極層上 設(shè)有與噴嘴數(shù)目對(duì)應(yīng)的多個(gè)圓孔，各圓孔的中心與噴嘴的中心共線， 在導(dǎo)引電極層上的各圓孔外周均同軸環(huán)繞有一圈導(dǎo)電環(huán)，且各導(dǎo)電環(huán) 均與一個(gè)電壓源連接，陣列化噴嘴與噴射電壓源相連，通過調(diào)整各個(gè) 電壓源處合適電壓值使得需要噴印的噴嘴與對(duì)應(yīng)的導(dǎo)電環(huán)形成的電壓 差大于其他噴嘴電壓差，進(jìn)而使待噴射噴嘴處的場強(qiáng)大于噴射啟動(dòng)所 需場強(qiáng)，其他不噴射的噴嘴處場強(qiáng)小于噴射啟動(dòng)所需場強(qiáng)，即可實(shí)現(xiàn) 各噴嘴的獨(dú)立控制。本發(fā)明還公開了其實(shí)現(xiàn)方法。本發(fā)明可以解決目 前存在的對(duì)噴印頭獨(dú)立噴射控制存在的結(jié)構(gòu)復(fù)雜、無法大規(guī)模集成使 用的問題。 

該項(xiàng)目應(yīng)用領(lǐng)域：可替代現(xiàn)有各種管殼式換熱器方案，尤其對(duì)貴重材料應(yīng)用的經(jīng)濟(jì)性更好，如銅管干式蒸發(fā)器、鈦管閉式冷卻器等。

開發(fā)了一種新型微流控注射器“濾頭”，通過簡單將樣品注入濾頭即可實(shí)現(xiàn)微粒的“片上濃縮”

一、 項(xiàng)目簡介并流濕式脫硫除塵一體化技術(shù)及設(shè)備是針對(duì)鍋爐煙氣處理、化工、制藥、食品、廢氣處理等領(lǐng)域的含塵、含硫氣體進(jìn)行凈化處理開發(fā)的一種運(yùn)行費(fèi)用低、脫硫、除塵效率高的環(huán)保技術(shù)與設(shè)備。設(shè)備內(nèi)安裝有自主研發(fā)的具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的旋風(fēng)式氣液接觸元件，含塵、含硫氣體與清洗液體同時(shí)從設(shè)備頂部并流進(jìn)入，在高速通過旋風(fēng)式高效接觸元件時(shí)對(duì)產(chǎn)生強(qiáng)烈的破碎、攪拌、沖擊作用，增強(qiáng)除塵效果，氣體得到凈化。并流濕式脫硫除塵流程如下圖所示。二、 項(xiàng)目技術(shù)成熟程度已應(yīng)用在實(shí)際工業(yè)生產(chǎn)中。應(yīng)用實(shí)例包括：1. 在河北邢臺(tái)英都化工廠含單質(zhì)硫氣體的凈化工藝中，成功地解決了原有氣體凈化系統(tǒng)中氣體單質(zhì)硫含量不達(dá)標(biāo)的問題，除塵效率達(dá)到99.8%；設(shè)備由原來的直徑3米、高32米下降為直徑1.6米，高14.64米，設(shè)備投資大大降低；運(yùn)行可靠、操作簡單；經(jīng)河北省產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)院檢測(cè)，總濕板壓降120Pa。  2. 本技術(shù)和設(shè)備在山東得克公司脫硫工程中應(yīng)用，氣量10000Nm3/h，設(shè)備直徑φ1000，高6100mm，脫硫率達(dá)99.5%。三、 技術(shù)指標(biāo)采用氣液并流，空塔氣速可達(dá)到5~15m/s，液氣比達(dá)到5 L/m3；全塔總壓降＜150Pa，脫硫率≥99.5%，總除塵效率可達(dá)到99%；對(duì)0~5μm粒徑的微細(xì)粉塵分級(jí)效率達(dá)到85%；與氣液逆流相比，處理相同氣量和粉塵濃度時(shí)，能耗可降低25%，設(shè)備尺寸減小50%～60%，操作費(fèi)用和設(shè)備投資可減少40%以上；操作時(shí)不會(huì)出現(xiàn)液泛、霧沫夾帶或帶水現(xiàn)象，塔板上無結(jié)垢；操作時(shí)不會(huì)產(chǎn)生粉塵的再飛揚(yáng)問題。四、 市場前景并流濕式脫硫除塵一體化技術(shù)及設(shè)備是針對(duì)鍋爐煙氣處理、化工、制藥、食品、廢氣處理等領(lǐng)域的含塵、含硫氣體進(jìn)行凈化處理開發(fā)的一種運(yùn)行費(fèi)用低、脫硫、除塵效率高的環(huán)保技術(shù)與設(shè)備。氨法、雙堿法、鎂法、石灰石—石膏法等各種方法鍋爐煙氣脫硫除塵；鋼鐵行業(yè)燒結(jié)煙氣的脫硫除塵；化工、制藥、食品、建材等行業(yè)的工業(yè)除塵；煙氣脫硫脫硝除塵一體化操作；有害氣體的凈化、冷卻和增濕；處理高溫、高濕和有爆炸危險(xiǎn)的氣體；H2S、HCl、NH3、HF等氣體的吸收；惡臭氣體的脫臭。五、 規(guī)模與投資需求根據(jù)不同需求可對(duì)應(yīng)多種解決方案。六、 合作方式技術(shù)入股，技術(shù)轉(zhuǎn)讓等形式。七、 項(xiàng)目具體聯(lián)系人及聯(lián)系方式項(xiàng)目負(fù)責(zé)人及聯(lián)系人：張少峰電話： 022-60204596 13132081566 郵箱： [email protected]

管殼式換熱器在現(xiàn)代工業(yè)中占有十分重要的地位，特別是在動(dòng)力、能源、化工、空調(diào)制冷、石油、冶金、核能等工業(yè)領(lǐng)域中應(yīng)用極為廣泛，它是工藝流程中的一種主要設(shè)備。傳統(tǒng)的弓形折流板換熱器存在流動(dòng)死區(qū)，易結(jié)垢，無法充分利用傳熱面積從而導(dǎo)致傳熱系數(shù)低，壓降大，管束易產(chǎn)生流體誘導(dǎo)振動(dòng)等缺點(diǎn)。高效的管殼式換熱設(shè)備能從多方面節(jié)省能源的消耗：一方面可以節(jié)省驅(qū)使換熱器中冷熱兩種流體的運(yùn)動(dòng)所需的功耗，同時(shí)換熱面積的縮小可以減少生產(chǎn)換熱設(shè)備所需的能耗以及原材料，有效的結(jié)構(gòu)形式還可以減少換熱面結(jié)垢的可能性，延長運(yùn)行周期。因此換熱設(shè)備的高效強(qiáng)化是實(shí)現(xiàn)我國過程工業(yè)節(jié)能的關(guān)鍵因素之一。據(jù)統(tǒng)計(jì)，管殼式換熱器大約占世界換熱器市場總份額的35–40%，且在石油、化工領(lǐng)域管殼式換熱器能占到高達(dá)70％的份額。因此對(duì)螺旋折流板管殼式換熱器進(jìn)行推廣應(yīng)用對(duì)于節(jié)能具有重要的意義，可以創(chuàng)造巨大的社會(huì)效益和經(jīng)濟(jì)效益。 上世紀(jì)末提出使用螺螺旋折流板支撐結(jié)構(gòu)代替?zhèn)鹘y(tǒng)的弓形折流板支撐結(jié)構(gòu)可以顯著降低殼側(cè)壓降，也有利于強(qiáng)化換熱，具有良好的綜合性能，雖然近十余年中國內(nèi)外對(duì)于螺旋折流板管殼式換熱器開展了較多的研究，但現(xiàn)有的公開發(fā)表的資料中未見到有關(guān)螺旋折流板換熱器的完整的設(shè)計(jì)方法介紹。本技術(shù)基于本課題組大量的試驗(yàn)與數(shù)值模擬研究并參考相關(guān)公開發(fā)表的文獻(xiàn)，開發(fā)一套完整的熱力設(shè)計(jì)方法和軟件。 該項(xiàng)目是在教育部重點(diǎn)課題和“973”項(xiàng)目的大力支持下，經(jīng)過多年的努力完成的。針對(duì)單殼程多管程單相介質(zhì)流動(dòng)換熱的螺旋折流板管殼式換熱器所開發(fā)的熱力設(shè)計(jì)軟件，該軟件擁有完全的自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)。本軟件采用VB6.0、EXCEL2003和FORTRAN混合編程。VB形成可視化操作界面，可視化數(shù)據(jù)輸入輸出，實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)傳遞功能；調(diào)用FROTRAN語言編制的可執(zhí)行程序讀取所需數(shù)據(jù)完成核心計(jì)算；調(diào)用EXCEL軟件進(jìn)行相關(guān)數(shù)據(jù)的保存和輸入輸出管理。

本實(shí)用新型提出了一種初期雨水棄流裝置，包括井體、進(jìn)水管、棄流管和出水管，井體側(cè)壁上端設(shè)有進(jìn)水口，井體內(nèi)中部設(shè)有隔板，且隔板的最高端不高出進(jìn)水口，隔板將井體內(nèi)部分隔成過濾腔和棄流腔，且過濾腔設(shè)置在井體靠近進(jìn)水口一側(cè)，井體側(cè)壁上設(shè)有與過濾腔連通的出水口以及與棄流腔連通的棄流口，過濾腔內(nèi)填充有砂層，井體內(nèi)靠近進(jìn)水口處并位于砂層上方設(shè)有活性炭層；進(jìn)水管與進(jìn)水口連通，棄流管與棄流口連通，出水管與出水口連通。本實(shí)用新型能夠?qū)⑿×髁康挠晁Y源通過過濾等方式凈化其水質(zhì)，加以利用；通過紗布網(wǎng)對(duì)活性炭層進(jìn)行固定，以防止