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伴隨著我國半導體行業(yè)的迅速崛起，硅電極作為光刻設(shè)備上承載硅基圓的重要輔材，其需求日趨增加。同時，基圓尺寸的不斷增加使得硅電極逐漸由單晶硅電極轉(zhuǎn)變?yōu)槎嗑Ч桦姌O，然而多晶硅制備過程中不可避免存在C、N雜質(zhì)的污染，導致其基體中存在大量彌散分布的SiC、Si3N4硬質(zhì)顆粒夾雜，嚴重影響了多晶硅電極的使用性能。 傳統(tǒng)制備技術(shù)下，設(shè)備熱場結(jié)構(gòu)單一，熔體流動性差，導致SiC、Si3N4雜質(zhì)循環(huán)溶解—析出，難以有效分離。本項目團隊前期利用電子束精煉技術(shù)去除硅中的蒸發(fā)性雜質(zhì)（P、 O、N）；利用電子束誘導實現(xiàn)多晶硅的定向凝固，進而分離硅中的金屬雜質(zhì)；基于電子束冷床效應分離硅中的SiC、Si3N4硬質(zhì)顆粒，并揭示硬質(zhì)顆粒與硅基體間的位相關(guān)系；基于上述研究開發(fā)出了多晶硅電極的制備工藝，可應用于刻蝕等半導體制造等領(lǐng)域。 本項目預期可以為半導體行業(yè)中硅電極生產(chǎn)制造企業(yè)提供穩(wěn)定的技術(shù)支持，具有很好的生產(chǎn)示范性，實現(xiàn)高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)化。該技術(shù)能夠有效地降低生產(chǎn)過程中的能耗，是一種低成本、環(huán)境友好的生產(chǎn)方法，屬于節(jié)能、環(huán)保的綠色制造技術(shù)。該技術(shù)的大規(guī)模應用和推廣，可大幅增加就業(yè)崗位，提高企業(yè)的市場競爭力，保護環(huán)境。

直徑為25 mm的YBa2Cu3O7-δ(Y123)單疇超導塊材在溫度為77K時，捕捉磁場高達4 T；而在29 K時，捕捉磁場甚至達17 T，優(yōu)越的性能促進了該類超導材料在電機、發(fā)電機、工業(yè)污水處理、醫(yī)學核磁共振等方面的應用研究。 本課題以通過熔融織構(gòu)方法生長高性能的單疇超導塊材作為研究對象，選擇合適的單相氧化物作為第二相生長GdBa2Cu3O7-δ超導塊材。在制備的高質(zhì)量系列樣品的基礎(chǔ)上，通過低溫磁性測量分析臨界電流密度隨溫度及摻雜量的變化曲線；分析微觀結(jié)構(gòu)，揭示第二相、缺陷等對超導性能影響的原因。以期找出提高超導塊材性能的合理生長方法，對其微觀機制給出盡量圓滿的解釋。這也為澄清與當前超導材料前沿課題緊密相關(guān)的一些基本問題的理解提供基礎(chǔ)研究資料。 該項目已獲國家自然基金項目立項支持。

本發(fā)明涉及金屬材料加工技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種高擇優(yōu)取向細晶超高純鋁靶材的制備方法。包括以下步驟：將超高純鋁板材于５０℃～３００℃下熱軋，道次壓下量控制在４０％～５０％；將熱軋后的超高純鋁板材在１００～３００℃溫度下保溫０～１小時；然后進行冷軋，道次壓下量控制在４０％～５０％，通過對板材進行道次間空冷、水冷以及冰水冷卻控制板材軋制過程的溫升，抑制板材的

Ti-3Al-5Mo-4.5V(俄羅斯牌號為 BT16，中國牌號為 TC16)鈦合金是俄羅斯航空材料研究院首先開發(fā)的一種新型鈦合金，該合金屬于高強度鈦合金，其塑性非常好，并且對缺口、偏斜等的應力集中敏感性較小，因此特別適應于冷鐓法制造緊固件，如螺栓、螺釘、螺母和鉚釘?shù)龋嵌砹_斯航空和航天部門應用的主要標準件材料。 Ti-3Al-5Mo-4.5V鈦合金特點是退火或淬火狀態(tài)下具有較高的塑性，主要的產(chǎn)品是棒絲材。Ti-3Al-5Mo-4.5V 鈦合金制造緊固件的最大優(yōu)點是可以在冷鐓后或再進行

Ti-3Al-5Mo-4.5V(俄羅斯牌號為BT16，中國牌號為TC16)鈦合金是俄羅斯航空材料研究院首先開發(fā)的一種新型鈦合金，該合金屬于高強度鈦合金，其塑性非常好，并且對缺口、偏斜等的應力集中敏感性較小，因此特別適應于冷鐓法制造緊固件，如螺栓、螺釘、螺母和鉚釘?shù)龋嵌砹_斯航空和航天部門應用的主要標準件材料。Ti-3Al-5Mo-4.5V 鈦合金特點是退火或淬火狀態(tài)下具有較高的塑性，主要的產(chǎn)品是棒絲材。 Ti-3Al-5Mo-4.5V 鈦合金制造緊固件的最大優(yōu)點是可以在冷鐓后或再進行

項目成果/簡介:項目在多年國家項目的支持下，在項目“面向工廠規(guī)劃和生產(chǎn)過程的數(shù)字化工廠技術(shù)”獲2013年教育部科技進步二等獎的基礎(chǔ)上，進行持續(xù)開發(fā)完善，與沈陽機床合作，在智能制造領(lǐng)域進行了深入的合作研究， 在沈陽機床智能制造展示線開發(fā)完成數(shù)字化孿生仿真模型及基于互聯(lián)網(wǎng)的定制信息系統(tǒng)，系統(tǒng)實現(xiàn)了網(wǎng)絡化定制下達生產(chǎn)訂單，數(shù)字化孿生系統(tǒng)在線仿真模擬，真實展現(xiàn)生產(chǎn)場景，并可通過移動設(shè)備進行瀏覽和信息管理。項目符合中國制造2025所倡導的智能制造和互聯(lián)網(wǎng)+技術(shù)的發(fā)展，對中國制造向智能化轉(zhuǎn)型起到促進作用。項目通過展示真實個性化印章的智能加工、檢測和裝配，體現(xiàn)網(wǎng)絡化的定制及數(shù)字化雙胞胎技術(shù)。應用范圍:項目所開發(fā)完成的技術(shù)符合中國制造2025所提出的智能制造技術(shù)路線，已應用于工業(yè)實際和大專院校的教學培訓。目前國家大力資助建立智能制造試點示范項目，制造企業(yè)也在積極轉(zhuǎn)型，向數(shù)字化和智能化轉(zhuǎn)型發(fā)展，這些都需要數(shù)字孿生和互聯(lián)網(wǎng)+技術(shù)的支持。 項目成熟度：小批量生產(chǎn)，項目已獨立以及結(jié)合沈陽機床的生產(chǎn)線及教育系統(tǒng)得到市場的應用，特別是在中國航發(fā)商用航空發(fā)動機有限責任公司相關(guān)項目中得到應用。 擬在全國范圍內(nèi)推廣：1.項目可應用于離散制造業(yè)的規(guī)劃、調(diào)試、運行和維護階段的仿真優(yōu)化，通過建立工廠、生產(chǎn)線、設(shè)備的三維模型，實現(xiàn)虛實結(jié)合的數(shù)字雙胞胎。 2、教育培訓領(lǐng)域：通過實現(xiàn)智能制造理念的面向教育和培訓的生產(chǎn)線系統(tǒng)，通過模塊化的系統(tǒng)，實現(xiàn)對智能制造教學和培訓。項目階段:小規(guī)模生產(chǎn)效益分析:項目的技術(shù)創(chuàng)新點、先進性在于實現(xiàn)了數(shù)字孿生技術(shù)在生產(chǎn)線中的應用，達到了生產(chǎn)線的虛實融合。不僅可在規(guī)劃階段對生產(chǎn)線進行仿真驗證，還可在生產(chǎn)運行過程中實現(xiàn)虛實融合，并通過AR-VR技術(shù)對操作指導、維修指導和生產(chǎn)過程監(jiān)控提供支持，從而實現(xiàn)多維的虛實融合，是實現(xiàn)智能制造的關(guān)鍵技術(shù)之一。項目相關(guān)技術(shù)不僅能夠應用于工業(yè)實際的智能化制造之中，還特別適合面向智能制造的教育和培訓。

面向工業(yè)制造的非接觸式在線攝影測量系統(tǒng)，結(jié)合了主動式面結(jié)構(gòu)光投影測量和被動式雙目視覺攝影測量的特點，對物體的三維形貌與變形進行在線測量。具有非接觸、高精度、自動化、測量點密度大、實時、高效和不易受溫度變化、振動等外界因素干擾等優(yōu)點，對于提高切削加工效率、質(zhì)量和降低成本具有重要意義，具有廣泛的應用前景。

該項目針對裝備智能化改造、智能個體自治技術(shù)、多智能體協(xié)商規(guī)則和自組織生產(chǎn)策略進行了深入研究，開發(fā)了相應原型系統(tǒng)——基于物聯(lián)技術(shù)的自組織智能制造實驗系統(tǒng)，形成了一套以物聯(lián)技術(shù)為基礎(chǔ)，通過自治與協(xié)商方式，實現(xiàn)車間自組織實時生產(chǎn)的“智能工廠”模式。 技術(shù)優(yōu)勢 該系統(tǒng)具備自組織、自決策、自適應、自學習的功能特征，可適應目前動態(tài)多變的制造環(huán)境，滿足多品種、變小批量、高度定制化的生產(chǎn)需求。通過提供模塊化熱插拔的智能接口裝置，可以幫助企業(yè)快速實現(xiàn)智能化改造升級。該智能制造系統(tǒng)可以高效柔性自治的應對加工、裝配、檢測等作業(yè)任務。

成果描述：針對目前中國大型石化公司從國外引進的聚乙烯聚合裝置的工藝包落后、只能生產(chǎn)低檔通用料的難題，自主開發(fā)一系列具有獨立知識產(chǎn)權(quán)的高檔聚乙烯專用樹脂的先進制造工藝技術(shù)，取得了巨大的經(jīng)濟效益。 根據(jù)產(chǎn)品使用性能和加工性能要求，設(shè)計并定制聚烯烴專用樹脂的關(guān)鍵結(jié)構(gòu)，提供結(jié)構(gòu)內(nèi)控方案，指導聚烯烴聚合大裝置制定催化劑體系和聚合工藝調(diào)整方案。 研究的聚合工藝包括：Basell公司Hostalen淤漿法工藝、Spherilene氣相工藝；BP-Solvay公司Innovenes低壓淤漿工藝；Univation公司的Unipol工藝；三井化學的CX工藝等。 開發(fā)產(chǎn)品包括：PE100、PE125、PERT等高檔管材料、LDPE涂覆料、LLDPE電子膜保護膜專用料等。市場前景分析：PE100管材料主要用于制造燃氣管、各種給水管材等壓力管道系統(tǒng)，而絕緣電纜聚乙烯專用樹脂主要應用于高壓電纜絕緣、電纜護套，用量大、附加值高、近年來市場需求量持續(xù)保持高速增長。然而由于技術(shù)附加值高，目前我國的高檔PE100管材料、絕緣電纜料基本全部依賴進口，被國外大公司所壟斷。 擁有其他高性能專用料制造技術(shù)，制得的產(chǎn)品如LDPE涂覆料、耐熱PERT管材料、LLDPE電子膜保護膜專用料等，均具有高附加值，市場需求巨大。與同類成果相比的優(yōu)勢分析：完成高檔聚乙烯專用料產(chǎn)品的結(jié)構(gòu)－性能剖析,提供關(guān)鍵結(jié)構(gòu)性能控制指標，建立聚乙烯專用樹脂的結(jié)構(gòu)特性數(shù)據(jù)庫；提供各種聚合工藝方案，指導裝置進行生產(chǎn)調(diào)整，建立快速表征方法，實現(xiàn)生產(chǎn)工藝的快速調(diào)整和質(zhì)量控制。制備的產(chǎn)品滿足其加工及使用性能要求，獲得市場認可。 如PE100管材專用樹脂：耐快速、慢速應力開裂、抗蠕變、剛性和抗沖性等性能，以及焊接性和加工性加工要求；聚乙烯電纜絕緣專用樹脂：力學性能、加工流動性能、潔凈度。 國際先進。