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浙江大學聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎(chǔ)研究、技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā)，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產(chǎn)率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關(guān)鍵核心技術(shù) 一、項目分類 關(guān)鍵核心技術(shù)突破 二、技術(shù)分析 如何通過超潔凈流控技術(shù)降低流控污染，減少曝光缺陷，提升曝光良率，是國產(chǎn)高端半導體制造裝備研制面臨的重大挑戰(zhàn)，直接關(guān)乎整機產(chǎn)品的產(chǎn)線應用性能與市場競爭力。此外，作為各類半導體制造裝備的共性核心零部件，超潔凈流控部件市場被美國、日本等國壟斷，使我國半導體制造裝備產(chǎn)業(yè)面臨核心零部件“卡脖子”風險。浙江大學流體動力與機電系統(tǒng)國家重點實驗室啟爾團隊所承擔的高端半導體制造裝備核心分系統(tǒng)之一的超潔凈流控系統(tǒng)，自2004年以來在國家863計劃和國家02專項支持，聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎(chǔ)研究、技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā)，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產(chǎn)率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關(guān)鍵核心技術(shù)，完成了超潔凈流控系統(tǒng)九大組件的研制和集成測試，為半導體制造設備掃描速度與產(chǎn)能的提高提供基礎(chǔ)理論與方法依據(jù)，同時自主研發(fā)的半導體機臺核心超潔凈流控零部件實現(xiàn)了產(chǎn)品化，突破了國外技術(shù)的封鎖，為我國半導體制造的發(fā)展與自主創(chuàng)新提供了基礎(chǔ)支撐。

產(chǎn)品詳細介紹 　　2015，沃柯雷克一代智能晨檢機器人上市 　　至今，已在晨檢機器人領(lǐng)域深耕5年，技術(shù)更成熟，累積晨檢數(shù)據(jù)庫資源更多，機器人經(jīng)過不斷的學習，分析能力更強。 　　產(chǎn)品從2015年至今已經(jīng)過5代更新，平均每年更新一款新的晨檢機器人，共計獲得20多項專利;團隊投入更多精力打磨產(chǎn)品，每一代都做到突破性的優(yōu)化。 　　2020，我們更快、更強、更智能 　　3秒即可同步完成測溫、手部、眼部、口部四大項目輔助晨檢。 　　測得全：手口眼溫，我們一個都不少 　　晨檢界的 技術(shù)擔當，學習委員;智能程度表現(xiàn)優(yōu)異，手口眼溫全部由機器自行完成 　　溫度：高溫提示、低燒預警 　　手部：紅疹、外傷、黑點、皰疹、污漬 　　口部：紅疹、皰疹、上顎發(fā)紅、蛀牙、咽喉紅腫 　　眼部：發(fā)紅 　　測得準：定位式檢測確保數(shù)據(jù)準確度 　　精準定位并準確獲取口腔、額頭等關(guān)鍵部位，確保晨檢效果，通過《世界zui新醫(yī)學信息文摘》論文驗證 　　測得快：3秒晨檢，一個動作一步完成 　　沃柯雷克是行業(yè)獨有的一步式晨檢，一個動作即可完成4大項目的篩查，比行業(yè)同業(yè)產(chǎn)品效率快3倍以上 　　沃柯雷克晨檢機器人集合精確傳感及人工智能先進技術(shù)為幼兒提供入園健康輔助晨檢，只需3秒即可同步完成測溫以及手部、眼部、口部的輔助晨檢，提高晨檢效率。由蘇州沃柯雷克智能系統(tǒng)有限公司全自主研發(fā)、生產(chǎn)的服務于兒童衛(wèi)生保健功能的人工智能裝備。 　　他，夠快 　　■處理器快內(nèi)置I5 雙核處理器高性能處理器，處理能力強，運算速度快，本地算法實時反饋結(jié)果，無網(wǎng)絡傳輸延時; 　　■算法快加載『圖澎思 』AI識別算法，專業(yè)的兒童晨檢識別算法，數(shù)據(jù)分析速度快，百毫秒級處理效率，榮獲多個專利; 　　■操作快小朋友只需做一個晨檢動作，溫度、口部、手部、眼部四大晨檢項目全部同步完成，無需分解步驟，智能化程度高; 　　■更智能晨檢項目全部由機器人完成，無需老師操作設備拍照或測量數(shù)據(jù); 　　他，不只是快 　　■項目全晨檢提示：溫度異常、手口紅疹、皰疹、眼睛發(fā)紅等關(guān)懷提示：喉嚨發(fā)紅、蛀牙等 　　■應用廣除了可以輔助晨檢，還可以矯正視力，測量身高、體重、BMI(連接外置設備);離園比對照片，輔助考勤簽到、接送抓拍;播放音樂故事，輔助教學(童趣版); 　　■數(shù)據(jù)準采用定位式晨檢，所有晨檢項目都精準定位在正確的晨檢部位，如溫度確保來源于額頭眉心，口腔、手部可清晰采集，從而確保晨檢結(jié)果的精準; 　　■更安全 　　√接觸面采用抑菌環(huán)保材料√自動空氣強排裝置促使局部空氣快速更新，配合44天長效抑菌產(chǎn)品√航空插頭，24伏人體安全電壓，確保電路安全 √防電磁干擾設計√無需布線插線，避免小朋友被電線絆倒√晨檢結(jié)果由保健老師復核后實時反饋給家長，家長更安心 　　■更方便√特有保健老師操作側(cè)屏，高清顯示，老師復核時觀看方便√斷電、斷網(wǎng)都能用，無需布線√萬向輪設計，移動方便

該項目應用領(lǐng)域：可替代現(xiàn)有各種管殼式換熱器方案，尤其對貴重材料應用的經(jīng)濟性更好，如銅管干式蒸發(fā)器、鈦管閉式冷卻器等。

開發(fā)了一種新型微流控注射器“濾頭”，通過簡單將樣品注入濾頭即可實現(xiàn)微粒的“片上濃縮”

一、 項目簡介并流濕式脫硫除塵一體化技術(shù)及設備是針對鍋爐煙氣處理、化工、制藥、食品、廢氣處理等領(lǐng)域的含塵、含硫氣體進行凈化處理開發(fā)的一種運行費用低、脫硫、除塵效率高的環(huán)保技術(shù)與設備。設備內(nèi)安裝有自主研發(fā)的具有自主知識產(chǎn)權(quán)的旋風式氣液接觸元件，含塵、含硫氣體與清洗液體同時從設備頂部并流進入，在高速通過旋風式高效接觸元件時對產(chǎn)生強烈的破碎、攪拌、沖擊作用，增強除塵效果，氣體得到凈化。并流濕式脫硫除塵流程如下圖所示。二、 項目技術(shù)成熟程度已應用在實際工業(yè)生產(chǎn)中。應用實例包括：1. 在河北邢臺英都化工廠含單質(zhì)硫氣體的凈化工藝中，成功地解決了原有氣體凈化系統(tǒng)中氣體單質(zhì)硫含量不達標的問題，除塵效率達到99.8%；設備由原來的直徑3米、高32米下降為直徑1.6米，高14.64米，設備投資大大降低；運行可靠、操作簡單；經(jīng)河北省產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗院檢測，總濕板壓降120Pa。  2. 本技術(shù)和設備在山東得克公司脫硫工程中應用，氣量10000Nm3/h，設備直徑φ1000，高6100mm，脫硫率達99.5%。三、 技術(shù)指標采用氣液并流，空塔氣速可達到5~15m/s，液氣比達到5 L/m3；全塔總壓降＜150Pa，脫硫率≥99.5%，總除塵效率可達到99%；對0~5μm粒徑的微細粉塵分級效率達到85%；與氣液逆流相比，處理相同氣量和粉塵濃度時，能耗可降低25%，設備尺寸減小50%～60%，操作費用和設備投資可減少40%以上；操作時不會出現(xiàn)液泛、霧沫夾帶或帶水現(xiàn)象，塔板上無結(jié)垢；操作時不會產(chǎn)生粉塵的再飛揚問題。四、 市場前景并流濕式脫硫除塵一體化技術(shù)及設備是針對鍋爐煙氣處理、化工、制藥、食品、廢氣處理等領(lǐng)域的含塵、含硫氣體進行凈化處理開發(fā)的一種運行費用低、脫硫、除塵效率高的環(huán)保技術(shù)與設備。氨法、雙堿法、鎂法、石灰石—石膏法等各種方法鍋爐煙氣脫硫除塵；鋼鐵行業(yè)燒結(jié)煙氣的脫硫除塵；化工、制藥、食品、建材等行業(yè)的工業(yè)除塵；煙氣脫硫脫硝除塵一體化操作；有害氣體的凈化、冷卻和增濕；處理高溫、高濕和有爆炸危險的氣體；H2S、HCl、NH3、HF等氣體的吸收；惡臭氣體的脫臭。五、 規(guī)模與投資需求根據(jù)不同需求可對應多種解決方案。六、 合作方式技術(shù)入股，技術(shù)轉(zhuǎn)讓等形式。七、 項目具體聯(lián)系人及聯(lián)系方式項目負責人及聯(lián)系人：張少峰電話： 022-60204596 13132081566 郵箱： [email protected]

管殼式換熱器在現(xiàn)代工業(yè)中占有十分重要的地位，特別是在動力、能源、化工、空調(diào)制冷、石油、冶金、核能等工業(yè)領(lǐng)域中應用極為廣泛，它是工藝流程中的一種主要設備。傳統(tǒng)的弓形折流板換熱器存在流動死區(qū)，易結(jié)垢，無法充分利用傳熱面積從而導致傳熱系數(shù)低，壓降大，管束易產(chǎn)生流體誘導振動等缺點。高效的管殼式換熱設備能從多方面節(jié)省能源的消耗：一方面可以節(jié)省驅(qū)使換熱器中冷熱兩種流體的運動所需的功耗，同時換熱面積的縮小可以減少生產(chǎn)換熱設備所需的能耗以及原材料，有效的結(jié)構(gòu)形式還可以減少換熱面結(jié)垢的可能性，延長運行周期。因此換熱設備的高效強化是實現(xiàn)我國過程工業(yè)節(jié)能的關(guān)鍵因素之一。據(jù)統(tǒng)計，管殼式換熱器大約占世界換熱器市場總份額的35–40%，且在石油、化工領(lǐng)域管殼式換熱器能占到高達70％的份額。因此對螺旋折流板管殼式換熱器進行推廣應用對于節(jié)能具有重要的意義，可以創(chuàng)造巨大的社會效益和經(jīng)濟效益。 上世紀末提出使用螺螺旋折流板支撐結(jié)構(gòu)代替?zhèn)鹘y(tǒng)的弓形折流板支撐結(jié)構(gòu)可以顯著降低殼側(cè)壓降，也有利于強化換熱，具有良好的綜合性能，雖然近十余年中國內(nèi)外對于螺旋折流板管殼式換熱器開展了較多的研究，但現(xiàn)有的公開發(fā)表的資料中未見到有關(guān)螺旋折流板換熱器的完整的設計方法介紹。本技術(shù)基于本課題組大量的試驗與數(shù)值模擬研究并參考相關(guān)公開發(fā)表的文獻，開發(fā)一套完整的熱力設計方法和軟件。 該項目是在教育部重點課題和“973”項目的大力支持下，經(jīng)過多年的努力完成的。針對單殼程多管程單相介質(zhì)流動換熱的螺旋折流板管殼式換熱器所開發(fā)的熱力設計軟件，該軟件擁有完全的自主知識產(chǎn)權(quán)。本軟件采用VB6.0、EXCEL2003和FORTRAN混合編程。VB形成可視化操作界面，可視化數(shù)據(jù)輸入輸出，實現(xiàn)數(shù)據(jù)傳遞功能；調(diào)用FROTRAN語言編制的可執(zhí)行程序讀取所需數(shù)據(jù)完成核心計算；調(diào)用EXCEL軟件進行相關(guān)數(shù)據(jù)的保存和輸入輸出管理。

本實用新型提出了一種初期雨水棄流裝置，包括井體、進水管、棄流管和出水管，井體側(cè)壁上端設有進水口，井體內(nèi)中部設有隔板，且隔板的最高端不高出進水口，隔板將井體內(nèi)部分隔成過濾腔和棄流腔，且過濾腔設置在井體靠近進水口一側(cè)，井體側(cè)壁上設有與過濾腔連通的出水口以及與棄流腔連通的棄流口，過濾腔內(nèi)填充有砂層，井體內(nèi)靠近進水口處并位于砂層上方設有活性炭層；進水管與進水口連通，棄流管與棄流口連通，出水管與出水口連通。本實用新型能夠?qū)⑿×髁康挠晁Y源通過過濾等方式凈化其水質(zhì)，加以利用；通過紗布網(wǎng)對活性炭層進行固定，以防止