納米線碳化硅金屬氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管
研發(fā)階段/n內(nèi)容簡介:納米線碳化硅金屬氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管涉及一種新型功率半導(dǎo)體器件制造技術(shù)。結(jié)合微電子技術(shù)工藝,構(gòu)造用納米線碳化硅金屬氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管。它具有高速、耐苛刻環(huán)境、低導(dǎo)通電阻等一系列特點,廣泛用于數(shù)字電子技術(shù)等領(lǐng)域。本產(chǎn)品獲得一項專利,專利號:200510018701.9。
湖北工業(yè)大學(xué)
2021-01-12