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納米級(jí)氧化銦錫粉體和高密度ITO靶
材
的制備
氧化銦錫(indium-tin-oxide)簡(jiǎn)稱ITO,ITO靶材是一種功能陶瓷材料,主要用于制造ITO透明導(dǎo)電膜玻璃。以金屬銦、錫為原料采用共沉淀法制備出納米級(jí)ITO復(fù)合粉體。粉體造粒成型后分別采用加壓和常壓燒結(jié)法制備出相對(duì)理論密度大于99.5%、氧化銦單一相的ITO靶材。 粉體純度大于99.99%、顆粒分散性好,粒徑10nm—80nm之間可控,BET比表面積30~60m2/g ,In2O3:90.0±0.5%,SnO2: 10.0±0.5%;ITO靶材相對(duì)理論密度99.5%。 威海市藍(lán)狐特種材料有限公司已采用該技術(shù)建設(shè)年產(chǎn)20噸納米級(jí)氧化銦錫復(fù)合粉體生產(chǎn)線,采用該粉體燒制的ITO靶材相對(duì)理論密度達(dá)到99%以上。國(guó)內(nèi)相對(duì)理論密度大于99%的ITO靶材主采用進(jìn)口產(chǎn)品。 金屬銦、錫是我國(guó)的優(yōu)勢(shì)資源,生產(chǎn)設(shè)備都是定型通用設(shè)備,年產(chǎn)20噸納米級(jí)氧化銦錫粉體和高密度ITO靶材的生產(chǎn)廠需要人員50名。納米級(jí)氧化銦錫粉體制備已建設(shè)年產(chǎn)20噸生產(chǎn)線。高密度ITO靶材的制備已完成實(shí)驗(yàn)室小試。
北京化工大學(xué)
2021-02-01
半導(dǎo)體輔
材
用多晶硅中碳、氮雜質(zhì)的分離去除技術(shù)
伴隨著我國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)的迅速崛起,硅電極作為光刻設(shè)備上承載硅基圓的重要輔材,其需求日趨增加。同時(shí),基圓尺寸的不斷增加使得硅電極逐漸由單晶硅電極轉(zhuǎn)變?yōu)槎嗑Ч桦姌O,然而多晶硅制備過(guò)程中不可避免存在C、N雜質(zhì)的污染,導(dǎo)致其基體中存在大量彌散分布的SiC、Si3N4硬質(zhì)顆粒夾雜,嚴(yán)重影響了多晶硅電極的使用性能。 傳統(tǒng)制備技術(shù)下,設(shè)備熱場(chǎng)結(jié)構(gòu)單一,熔體流動(dòng)性差,導(dǎo)致SiC、Si3N4雜質(zhì)循環(huán)溶解—析出,難以有效分離。本項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)前期利用電子束精煉技術(shù)去除硅中的蒸發(fā)性雜質(zhì)(P、 O、N);利用電子束誘導(dǎo)實(shí)現(xiàn)多晶硅的定向凝固,進(jìn)而分離硅中的金屬雜質(zhì);基于電子束冷床效應(yīng)分離硅中的SiC、Si3N4硬質(zhì)顆粒,并揭示硬質(zhì)顆粒與硅基體間的位相關(guān)系;基于上述研究開(kāi)發(fā)出了多晶硅電極的制備工藝,可應(yīng)用于刻蝕等半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域。 本項(xiàng)目預(yù)期可以為半導(dǎo)體行業(yè)中硅電極生產(chǎn)制造企業(yè)提供穩(wěn)定的技術(shù)支持,具有很好的生產(chǎn)示范性,實(shí)現(xiàn)高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)化。該技術(shù)能夠有效地降低生產(chǎn)過(guò)程中的能耗,是一種低成本、環(huán)境友好的生產(chǎn)方法,屬于節(jié)能、環(huán)保的綠色制造技術(shù)。該技術(shù)的大規(guī)模應(yīng)用和推廣,可大幅增加就業(yè)崗位,提高企業(yè)的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力,保護(hù)環(huán)境。
大連理工大學(xué)
2021-05-10
單疇超導(dǎo)塊
材
Gd-Ba-Cu-O 的制備與其超導(dǎo)性能的研究
直徑為25 mm的YBa2Cu3O7-δ(Y123)單疇超導(dǎo)塊材在溫度為77K時(shí),捕捉磁場(chǎng)高達(dá)4 T;而在29 K時(shí),捕捉磁場(chǎng)甚至達(dá)17 T,優(yōu)越的性能促進(jìn)了該類超導(dǎo)材料在電機(jī)、發(fā)電機(jī)、工業(yè)污水處理、醫(yī)學(xué)核磁共振等方面的應(yīng)用研究。 本課題以通過(guò)熔融織構(gòu)方法生長(zhǎng)高性能的單疇超導(dǎo)塊材作為研究對(duì)象,選擇合適的單相氧化物作為第二相生長(zhǎng)GdBa2Cu3O7-δ超導(dǎo)塊材。在制備的高質(zhì)量系列樣品的基礎(chǔ)上,通過(guò)低溫磁性測(cè)量分析臨界電流密度隨溫度及摻雜量的變化曲線;分析微觀結(jié)構(gòu),揭示第二相、缺陷等對(duì)超導(dǎo)性能影響的原因。以期找出提高超導(dǎo)塊材性能的合理生長(zhǎng)方法,對(duì)其微觀機(jī)制給出盡量圓滿的解釋。這也為澄清與當(dāng)前超導(dǎo)材料前沿課題緊密相關(guān)的一些基本問(wèn)題的理解提供基礎(chǔ)研究資料。 該項(xiàng)目已獲國(guó)家自然基金項(xiàng)目立項(xiàng)支持。
上海電力大學(xué)
2021-04-29
一種高擇優(yōu)取向細(xì)晶超高純鋁靶
材
的制備方法
本發(fā)明涉及金屬材料加工技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種高擇優(yōu)取向細(xì)晶超高純鋁靶材的制備方法。包括以下步驟:將超高純鋁板材于50℃~300℃下熱軋,道次壓下量控制在40%~50%;將熱軋后的超高純鋁板材在100~300℃溫度下保溫0~1小時(shí);然后進(jìn)行冷軋,道次壓下量控制在40%~50%,通過(guò)對(duì)板材進(jìn)行道次間空冷、水冷以及冰水冷卻控制板材軋制過(guò)程的溫升,抑制板材的
東南大學(xué)
2021-04-14
緊固件用 Ti-3Al-5Mo-4.5V 鈦合金棒
材
制備
Ti-3Al-5Mo-4.5V(俄羅斯牌號(hào)為 BT16,中國(guó)牌號(hào)為 TC16)鈦合金是俄羅斯航空材料研究院首先開(kāi)發(fā)的一種新型鈦合金,該合金屬于高強(qiáng)度鈦合金,其塑性非常好,并且對(duì)缺口、偏斜等的應(yīng)力集中敏感性較小,因此特別適應(yīng)于冷鐓法制造緊固件,如螺栓、螺釘、螺母和鉚釘?shù)龋嵌砹_斯航空和航天部門應(yīng)用的主要標(biāo)準(zhǔn)件材料。 Ti-3Al-5Mo-4.5V鈦合金特點(diǎn)是退火或淬火狀態(tài)下具有較高的塑性,主要的產(chǎn)品是棒絲材。Ti-3Al-5Mo-4.5V 鈦合金制造緊固件的最大優(yōu)點(diǎn)是可以在冷鐓后或再進(jìn)行
江蘇大學(xué)
2021-04-14
緊固件用Ti-3Al-5Mo-4.5V鈦合金棒
材
制備
Ti-3Al-5Mo-4.5V(俄羅斯牌號(hào)為BT16,中國(guó)牌號(hào)為TC16)鈦合金是俄羅斯航空材料研究院首先開(kāi)發(fā)的一種新型鈦合金,該合金屬于高強(qiáng)度鈦合金,其塑性非常好,并且對(duì)缺口、偏斜等的應(yīng)力集中敏感性較小,因此特別適應(yīng)于冷鐓法制造緊固件,如螺栓、螺釘、螺母和鉚釘?shù)龋嵌砹_斯航空和航天部門應(yīng)用的主要標(biāo)準(zhǔn)件材料。Ti-3Al-5Mo-4.5V 鈦合金特點(diǎn)是退火或淬火狀態(tài)下具有較高的塑性,主要的產(chǎn)品是棒絲材。 Ti-3Al-5Mo-4.5V 鈦合金制造緊固件的最大優(yōu)點(diǎn)是可以在冷鐓后或再進(jìn)行
江蘇大學(xué)
2021-04-14
一種大幅面零部件的增減
材
復(fù)合制造設(shè)備
發(fā)明公開(kāi)了一種大幅面零部件的增減材復(fù)合制造設(shè)備,包括床身,床身上安裝有多個(gè)用于增材制造的六自由度倒掛機(jī)器人和五軸·825·聯(lián)動(dòng)龍門銑床,多個(gè)倒掛機(jī)器人分布在龍門銑床的銑削頭周圍;倒掛機(jī)器人上設(shè)有增材制造設(shè)備,所使用的熱源可以是高功率激光束或者電弧;增材制造設(shè)備在工作平臺(tái)上進(jìn)行單層或多層毛坯體制造,龍門銑床銑削頭對(duì)單層或多層的毛坯體進(jìn)行精加工和修整。本發(fā)明克服了大幅面復(fù)雜零部件銑削加工的困難和增材制造技術(shù)
華中科技大學(xué)
2021-04-14
一種用于制造片
材
與柔性薄膜復(fù)合疊層的系統(tǒng)及方法
本發(fā)明公開(kāi)了一種用于制造片材與柔性薄膜復(fù)合疊層的系統(tǒng)及其方法,所述系統(tǒng)沿著薄膜輸送方向依次包括開(kāi)卷裝置、第一檢測(cè)裝置、上料裝置、壓合裝置、第二檢測(cè)裝置、裁切裝置、第三檢測(cè)裝置、下料裝置以及收卷裝置。其中開(kāi)卷和收卷裝置分別用于將薄膜展開(kāi)和纏繞收卷,上料和壓合裝置分別用于真空吸附片材和將片材在薄膜上疊合,裁切裝置用于對(duì)復(fù)合疊層執(zhí)行斷點(diǎn)切斷,第一、第二和第三檢測(cè)裝置用于檢測(cè)柔性薄膜的輸送、疊合對(duì)位和裁切效果予以檢測(cè)和反饋,下料裝置用于對(duì)復(fù)合疊層執(zhí)行下料及分類處理。通過(guò)本發(fā)明,能夠保證薄膜的穩(wěn)定輸送及其與片材之間的精確定位,防止片材出現(xiàn)彎曲和脆裂現(xiàn)象,而且便于對(duì)復(fù)合疊層進(jìn)行裁切和分類處理。
華中科技大學(xué)
2021-04-11
不對(duì)稱多取代卟啉
金
(III)類抗癌化合物及其制備方法
本發(fā)明以四苯基卟啉金(III)為先導(dǎo)化合物,在卟啉環(huán)上引入不同較強(qiáng)極性基團(tuán)改善分子的對(duì)稱性,且通過(guò)較強(qiáng)極性基團(tuán)的引入促進(jìn)這類化合物在水中溶解能力,并強(qiáng)化多取代氯化四苯基卟啉金化合物對(duì)癌細(xì)胞的靶向作用。
揚(yáng)州大學(xué)
2021-04-14
一種基于板面控形的大型板
金
件電磁漸進(jìn)成形方法
本發(fā)明屬于電磁漸進(jìn)成形領(lǐng)域,并具體公開(kāi)了一種基于板面控 形的大型板金件電磁漸進(jìn)成形方法,該方法采用分層的方式成形大型 板金件,其包括如下步驟:首先采用平面螺旋線圈按照等高線軌跡移 動(dòng)放電成形待成形工件的首層;然后采用曲面線圈按照螺旋線軌跡移 動(dòng)放電成形待成形工件的除首層和底層之外的其他層;最后采用平面 螺旋線圈按照等高線軌跡移動(dòng)或固定位置多次放電成形待成形工件的 底層,以此實(shí)現(xiàn)大型板金件的電磁漸進(jìn)成形。本發(fā)明可通過(guò)線
華中科技大學(xué)
2021-04-14
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