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浙江大學(xué)聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎(chǔ)研究、技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā)，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產(chǎn)率的1mk級(jí)溫度測(cè)控、5ppt級(jí)金屬離子測(cè)控、20μm級(jí)氣泡測(cè)控、50nm級(jí)殘留液膜測(cè)控等關(guān)鍵核心技術(shù) 一、項(xiàng)目分類 關(guān)鍵核心技術(shù)突破 二、技術(shù)分析 如何通過超潔凈流控技術(shù)降低流控污染，減少曝光缺陷，提升曝光良率，是國(guó)產(chǎn)高端半導(dǎo)體制造裝備研制面臨的重大挑戰(zhàn)，直接關(guān)乎整機(jī)產(chǎn)品的產(chǎn)線應(yīng)用性能與市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。此外，作為各類半導(dǎo)體制造裝備的共性核心零部件，超潔凈流控部件市場(chǎng)被美國(guó)、日本等國(guó)壟斷，使我國(guó)半導(dǎo)體制造裝備產(chǎn)業(yè)面臨核心零部件“卡脖子”風(fēng)險(xiǎn)。浙江大學(xué)流體動(dòng)力與機(jī)電系統(tǒng)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室啟爾團(tuán)隊(duì)所承擔(dān)的高端半導(dǎo)體制造裝備核心分系統(tǒng)之一的超潔凈流控系統(tǒng)，自2004年以來在國(guó)家863計(jì)劃和國(guó)家02專項(xiàng)支持，聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎(chǔ)研究、技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā)，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產(chǎn)率的1mk級(jí)溫度測(cè)控、5ppt級(jí)金屬離子測(cè)控、20μm級(jí)氣泡測(cè)控、50nm級(jí)殘留液膜測(cè)控等關(guān)鍵核心技術(shù)，完成了超潔凈流控系統(tǒng)九大組件的研制和集成測(cè)試，為半導(dǎo)體制造設(shè)備掃描速度與產(chǎn)能的提高提供基礎(chǔ)理論與方法依據(jù)，同時(shí)自主研發(fā)的半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)核心超潔凈流控零部件實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)品化，突破了國(guó)外技術(shù)的封鎖，為我國(guó)半導(dǎo)體制造的發(fā)展與自主創(chuàng)新提供了基礎(chǔ)支撐。

本發(fā)明屬于超材料設(shè)計(jì)相關(guān)技術(shù)領(lǐng)域，其公開了一種適用于具 有功能梯度及拉脹屬性的超材料的拓?fù)鋬?yōu)化方法，其包括以下步驟: (1)采用加權(quán)法建立每層的、同時(shí)考慮微觀結(jié)構(gòu)拉脹屬性及宏觀結(jié)構(gòu)剛 度屬性的多目標(biāo)優(yōu)化模型;(2)控制所述超材料結(jié)構(gòu)整體在一個(gè)方向上 的拉脹屬性及剛度屬性呈梯度形式分布;(3)計(jì)算每層設(shè)計(jì)域上的微觀 位移、宏觀位移、以及每層微結(jié)構(gòu)的等效彈性屬性;(4)基于計(jì)算獲得 的敏度，采用優(yōu)化準(zhǔn)則法更新設(shè)計(jì)變量，進(jìn)而判斷所述目標(biāo)函數(shù)是否 收斂。上述拓?fù)鋬?yōu)化方法采用加權(quán)法建立同時(shí)考慮微觀結(jié)

一種可重構(gòu)的絲杠副、導(dǎo)軌副加速壽命電液伺服試驗(yàn)臺(tái)，其組成是：機(jī)座上的兩個(gè)導(dǎo)軌安裝臺(tái)之間的T型臺(tái)的兩絲杠軸承座上安裝與電機(jī)相連的絲杠；導(dǎo)軌安裝臺(tái)上的導(dǎo)軌與導(dǎo)軌滑塊配合，導(dǎo)軌上的導(dǎo)軌滑塊墊板、一個(gè)導(dǎo)軌安裝臺(tái)上的光柵尺讀數(shù)頭和絲杠的螺母上的絲母座均與受力滑臺(tái)的底部相連；受力滑臺(tái)的一側(cè)通過齒條與磁粉制動(dòng)器輸出軸端部的齒輪嚙合。受力滑臺(tái)的另一側(cè)面與橫向加載機(jī)構(gòu)的施力輪相對(duì)，上方則與垂向加載機(jī)構(gòu)的施力輪相對(duì)。該試驗(yàn)裝置能實(shí)現(xiàn)多種型號(hào)的絲杠副、導(dǎo)軌副的三向動(dòng)態(tài)加載的加速壽命試驗(yàn)，能實(shí)時(shí)采集評(píng)估絲杠副、導(dǎo)軌副剩余壽命及退化機(jī)理所需的試驗(yàn)數(shù)據(jù)，為絲杠副、導(dǎo)軌副的設(shè)計(jì)與維護(hù)提供更加可靠的試驗(yàn)依據(jù)。

產(chǎn)品詳細(xì)介紹深圳市貝斯特燃?xì)庠O(shè)備現(xiàn)貨優(yōu)惠供應(yīng)美國(guó)費(fèi)希爾FISHER627-496燃?xì)庹{(diào)壓閥/減壓閥/調(diào)壓器，該產(chǎn)品具有如下優(yōu)點(diǎn)◆FISHER燃?xì)庹{(diào)壓器627包括以下型號(hào):627-576/627-476/627-464/627W/627W-5/627W- 30適用于天然氣傳輸系統(tǒng)和各種工業(yè)、商業(yè)應(yīng)用領(lǐng)域 壓力設(shè)定簡(jiǎn)單、調(diào)壓精確、關(guān)閉靈敏 一體化的EZR-OSX過壓失壓切斷裝置，確保下游管線安全◆特殊設(shè)計(jì)的金屬閥口結(jié)構(gòu)和流體路徑可減少閥座磨損，降低噪音◆內(nèi)置式過濾裝置 精確的調(diào)壓特性◆帶有燃?xì)庹{(diào)壓閥/減壓閥/調(diào)壓器行程指示器 高性能降噪聲設(shè)計(jì) 多種監(jiān)控方式可供選擇 進(jìn)口壓力范圍：最大72.4 bar出口壓力范圍：0.015-48 bar 最大流量：400000 Nm3/h 精度：±1% 可在線維修，價(jià)格性能比極高 連接方式：1"-12" ANSI 125BFF/250BFF/150RF/150RF/300RF/600RF 法蘭,BWE 材料：鑄鐵 或 WCB 鋼制閥體 溫度：-29°～121℃◆選項(xiàng)：變換指揮器，可改裝成安全放散閥；可選配一體化過濾裝置，防止雜質(zhì)損害內(nèi)部配件；◆配備Kixcel662型燃?xì)庹{(diào)壓閥/減壓閥/調(diào)壓器電動(dòng)執(zhí)行器，實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程調(diào)壓 可用于天然氣、液化石油氣、空氣等多種氣體。※ 深圳市貝斯特燃?xì)庠O(shè)備有限公司   聯(lián)系人：陳小姐※ 辦公地址：深圳市龍華新區(qū)觀瀾街道大和路怡力科技園B棟四樓※ 電話：0755-29049559 13537704290※ 傳真：0755-28127295     服務(wù)QQ：664064711※ 網(wǎng)址：http://www.ccbestgas.com※ 網(wǎng)址：http://www.fishergas.com※ 網(wǎng)址：http://www.cigas.cn   

專利內(nèi)容是本發(fā)明針對(duì)背景技術(shù)存在的缺陷，提出了一種單晶石榴石厚膜的間歇式液相外延生長(zhǎng)方法，緩解了襯底與薄膜之間的應(yīng)力產(chǎn)生，得到的單晶石榴石厚膜可作為磁光或微波厚膜應(yīng)用，該方法制得的磁光厚膜的厚度可達(dá)100µm以上。

本發(fā)明公開了一種迭代空間模糊聚類的大腦磁共振圖像超體素生成方法，包括以下步驟：首先，由于人類大腦具有相同的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)，從基于群體的大腦MRI模板獲得一組種子模板；其次，為了排除部分容積效應(yīng)的影響，提出了一種迭代空間模糊聚類算法，將體素分配給每個(gè)種子生成超體素。本發(fā)明能較好地應(yīng)用于大腦磁共振圖像，生成有效的大腦磁共振圖像超體素。

其他成果/n一種具有抑菌活性的香芹酚固體脂質(zhì)納米粒分散液及其制備方法和應(yīng)用，以香芹酚固體脂質(zhì)納米粒分散液的總重量計(jì)，該香芹酚固體脂質(zhì)納米粒包括：香芹酚0.05?0.5wt％、單硬脂酸甘油酯0.5?1wt％、1,2?丙二醇酯0.5?1wt％、吐溫?80 1?2wt％、乙醇5?6wt％、余量為水。本發(fā)明的香芹酚固體脂質(zhì)納米粒分散液的有效成分來源于植物提取物，綠色環(huán)保，對(duì)人體無害，固體脂質(zhì)納米粒有效改善了香芹酚的水分散性，增加了香芹酚在水中的溶解性，提高了香芹酚的穩(wěn)定性。

本發(fā)明公開了一種用于油氣田中的可降解水基清潔壓裂液稠化劑。本發(fā)明將具有酯基和磺基的甜菜堿型兩性表面活性劑稠化劑式(I)用于可降解水基清潔壓裂液中，得到的可降解水基清潔壓裂液可自動(dòng)破膠，且在剪切一小時(shí)后壓裂液的粘度仍保持在50mPa·s以上。所述的可降解水基清潔壓裂液的主要化學(xué)成分為具有酯基和磺基的甜菜堿型兩性表面活性劑稠化劑和交聯(lián)劑，稠化劑的質(zhì)量百分比為1.5％?4.0％；交聯(lián)劑的質(zhì)量百分比為0.5％?1.0％。本發(fā)明的可降解水基清潔壓裂液的生物降解性好，對(duì)環(huán)境影響小、耐溫耐剪切性能好、破膠完全無殘?jiān)⑴渲坪?jiǎn)單。