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以投影光刻機、超精密光學系統、超穩定運動工件臺以及激光干涉測量儀等為代表的超精密設備對其加工環境要求及其苛刻，對環境中的溫度、壓力、濕度、潔凈度都必須加以超穩定的超穩定控制。 一、項目分類 關鍵核心技術突破 二、成果簡介 以投影光刻機、超精密光學系統、超穩定運動工件臺以及激光干涉測量儀等為代表的超精密設備對其加工環境要求及其苛刻，對環境中的溫度、壓力、濕度、潔凈度都必須加以超穩定的超穩定控制。以光刻機為例：在光刻機工件臺實際工作過程中，溫度的空間不均勻性或者隨時間漂移性都會嚴重影響光刻機的定位精度和套刻精度。具體表現有：工件臺關鍵部件會由于空間溫度的漂移而產生形變進而導致運動誤差，而以激光干涉儀為代表的超穩定測量儀器的波長會受溫度、壓力影響，波長的漂移勢必會造成測量結果的誤差進而最終影響光刻精度。除此之外，空氣中的污染顆粒和化學腐蝕物也均會對工件臺的運動性能造成顯著影響。無論對于精密加工裝備還是測量設備來說，當精度達到納米級時，由環境參數波動引起的誤差因素就成為限制其精度的一大障礙，在這個時候很有必要引入一套環境控制系統來保證這些精密設備的苛刻工作環境需求。

該材料實現了系列突破： 1. 產率高、三廢少，可實現投料 98%以上的產出； 2. 制備工藝先進、能耗低、產量大，便于大規模生產； 3. 水溶性高，最高可實現 70%左右的水溶性，性能遠高于市場同類產品； 

該技術是繼上世紀九十年代初我校建立的可在春節和元旦上市 的“無加溫冬季草莓早熟半早熟栽培技術”之后的草莓栽培技術又一重要突破。 利用引進甜查理鮮食草莓品種、卡瑪魯沙等出口草莓品種以及鉆石等珍稀草莓 品種，在建立的系統化高產栽培技術基礎上，通過工廠化育苗技術和全新的育青島農業大學科技成果介紹 2017 －25－ 苗方法，以無公害栽培方式，促進草莓花芽提早分化、超早成熟。 生產條件及經濟效益預測：培育的草莓比現有草莓提前一至兩個月成熟， 可于 10 至 11 月上市銷售，畝產可達 4000kg。10-1

縱向偏振激光束作為一種特殊光束，它的主要偏振態與光束的傳播方向一致， 這與傳統的麥克斯韋方程所描述的光的偏振態與它的傳播方向垂直相矛盾;該光 束的尺寸可以小于系統 0.5 波長衍射極限分辨率，達到 0.36 波長，如果用于掃 描成像，可以實現 38%的分辨率提高，對于藍色 405 納米的激光，分辨率可以小 于90納米。

產品詳細介紹

產品詳細介紹  JHT—DDC單人單面超凈化工作臺（垂直）   這是一種供單人操作的通用型局部凈化設備，氣流形式為垂直層流，它可造就局部高清潔度空氣環境，是科研制藥、醫療衛生、電子光學儀器等行業最為理想的專用設備。 特點： 1、操作區為全不銹鋼 2、外型美觀結構合理 3、采用自定們上下推拉門系統 4、風量可調，雙側電源插座   技術指標：   型號   JHT--DDC 外形尺寸 900×800×1630 工作臺尺寸 870×650×570 潔凈等級 100級@≥0.5ｕm(美聯邦209E) 平均風速 0.3—0.5m/s(可調) 噪音 ≤65dB(A) 振動 ≤3ｕm 照明 ≥300LX 電源 220V 50HZ 消耗功率 ≤360W 紫外線 30W×1 照明 30W×1 備注 不銹鋼臺面，雙側電源，上下推拉門  

一種濕法刻蝕鎳酸鑭薄膜和鐵電薄膜/鎳酸鑭復合薄膜的腐蝕液，由雙氧水、硝酸、氫氟酸和純凈水配制而成，純凈水、雙氧水、硝酸、氫氟酸的體積比為：純凈水∶雙氧水∶硝酸∶氫氟酸＝1∶2～3∶0.5～1.0∶0.06～0.12。所述腐蝕液的制備方法，按上述配方在常溫、常壓下將計量好的純凈水與雙氧水混合均勻，然后加入計量好的硝酸并混合均勻，繼后加入計量好的氫氟酸并混合均勻。所述腐蝕液可干凈、徹底地一次性去除SiO2 和/或Pt表面的LNO薄膜或LNO復合薄膜，得到邊緣清晰、側蝕比小的刻蝕圖形。

（專利號：ZL 201510339003.2） 簡介：本發明公開了一種鈮酸銻納米棒復合生物濾料，屬于污水處理技術領域。該鈮酸銻納米棒復合生物濾料的質量百分比組成如下：鈮酸銻納米棒35-50％、碳酸銨9-18％、鍺酸鑭納米片8-16％、硅酸鈉2-7％、脂肪醇聚氧乙烯醚羧酸鈉0.5-2％、水20-35％。本發明制備出的鈮酸銻納米棒復合生物濾料表面粗糙，具有耐水性能優良、熱穩定性好、孔隙率高、比表面積大、吸附能力強和可重復使用等特點，有利于濾料表面微生物膜的形成與生長，在污水處理領域具有良好的應用前景。

（專利號：ZL 201510055937.3） 簡介：本發明公開了一種鋁酸鋰納米片多功能復合涂料，屬于功能材料領域。鋁酸鋰納米片多功能復合涂料的質量百分比組成如下：鋁酸鋰納米片18?35％、納米氧化鋯5?15％、萜烯樹脂乳液11?20％、苯乙烯丙烯酸酯共聚合物乳液6?12％、丙二醇甲醚醋酸酯3?8％、甲基硅油乳液3?8％、水20?35％、聚乙二醇1?3％、聚丙烯酰胺0.2?1％、丙二醇0.1?1％、聚氧丙烯甘油醚0.05?0.2％、二甘醇0.5?3％、聚醚改性聚二甲基硅氧烷0.05?0.5％。本發明所提供的鋁酸鋰納米片多功能涂料具有防腐、阻燃、防霉抗菌、防污、防水及保溫等多種功能，在建筑物及設備用涂料方面具有良好的應用前景。  

成果描述：針對目前太陽能、風能和電動汽車、電動自行車的飛速發展對儲能電池壽命、安全性能以及低成本需求，以及現有儲能電池能量密度和功率密度不夠，安全性差且使用壽命短的矛盾。本項目通過對制備工藝的嚴格控制合成單晶結構錳酸鋰系正極材料，用碳納米管從微觀層面上改善錳酸鋰系正極材料的性能，結合金屬改性以及高分子材料的表面包覆制備出高比容量、高安全性和長壽命錳酸鋰系儲能電池電極材料。通過與錳酸鋰系電極材料相匹配的電解質和負極材料的優化和修飾，以及電池的合理設計開發基于錳酸鋰系正極材料的高性能儲能電池，實現錳酸鋰系儲能電池在智能電網儲能等方面的應用。市場前景分析：低成本普通錳酸鋰電池可廣泛應用于儲能系統，比如高檔住宅小區的太陽能路燈、景觀照明燈、移動通訊基站蓄電池、風能發電等儲能系統。以化學二氧化錳為錳源摻雜改性制備的高溫錳酸鋰電池具有容量高、動力性好等優點，可廣泛應用于動力電源系統市場，主要針對電動自行車、電動汽車、電動觀光車、旅游游艇等。與同類成果相比的優勢分析：克容量(1C)：110mAh/g； 10C/1C＞80%； 普通型：常溫循環800次保持80%以上； 高溫型：55℃循環500次保持70%以上。 國際領先。