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超穩(wěn)定微環(huán)境控制系統(tǒng)
以投影光刻機(jī)、超精密光學(xué)系統(tǒng)、超穩(wěn)定運(yùn)動(dòng)工件臺(tái)以及激光干涉測(cè)量?jī)x等為代表的超精密設(shè)備對(duì)其加工環(huán)境要求及其苛刻，對(duì)環(huán)境中的溫度、壓力、濕度、潔凈度都必須加以超穩(wěn)定的超穩(wěn)定控制。
一、項(xiàng)目分類
關(guān)鍵核心技術(shù)突破
二、成果簡(jiǎn)介
以投影光刻機(jī)、超精密光學(xué)系統(tǒng)、超穩(wěn)定運(yùn)動(dòng)工件臺(tái)以及激光干涉測(cè)量?jī)x等為代表的超精密設(shè)備對(duì)其加工環(huán)境要求及其苛刻，對(duì)環(huán)境中的溫度、壓力、濕度、潔凈度都必須加以超穩(wěn)定的超穩(wěn)定控制。以光刻機(jī)為例：在光刻機(jī)工件臺(tái)實(shí)際工作過程中，溫度的空間不均勻性或者隨時(shí)間漂移性都會(huì)嚴(yán)重影響光刻機(jī)的定位精度和套刻精度。具體表現(xiàn)有：工件臺(tái)關(guān)鍵部件會(huì)由于空間溫度的漂移而產(chǎn)生形變進(jìn)而導(dǎo)致運(yùn)動(dòng)誤差，而以激光干涉儀為代表的超穩(wěn)定測(cè)量?jī)x器的波長(zhǎng)會(huì)受溫度、壓力影響，波長(zhǎng)的漂移勢(shì)必會(huì)造成測(cè)量結(jié)果的誤差進(jìn)而最終影響光刻精度。除此之外，空氣中的污染顆粒和化學(xué)腐蝕物也均會(huì)對(duì)工件臺(tái)的運(yùn)動(dòng)性能造成顯著影響。無論對(duì)于精密加工裝備還是測(cè)量設(shè)備來說，當(dāng)精度達(dá)到納米級(jí)時(shí)，由環(huán)境參數(shù)波動(dòng)引起的誤差因素就成為限制其精度的一大障礙，在這個(gè)時(shí)候很有必要引入一套環(huán)境控制系統(tǒng)來保證這些精密設(shè)備的苛刻工作環(huán)境需求。
華中科技大學(xué)
2022-07-26
科學(xué)技術(shù)大學(xué).jpg){kind=logo}
高水溶性超細(xì)鈦白粉
該材料實(shí)現(xiàn)了系列突破： 1. 產(chǎn)率高、三廢少，可實(shí)現(xiàn)投料 98%以上的產(chǎn)出；
2. 制備工藝先進(jìn)、能耗低、產(chǎn)量大，便于大規(guī)模生產(chǎn)；
3. 水溶性高，最高可實(shí)現(xiàn) 70%左右的水溶性，性能遠(yuǎn)高于市場(chǎng)同類產(chǎn)品；
中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)
2023-05-17
業(yè)大學(xué).jpg){kind=logo}
超早熟無公害草莓高產(chǎn)技術(shù)
該技術(shù)是繼上世紀(jì)九十年代初我校建立的可在春節(jié)和元旦上市 的“無加溫冬季草莓早熟半早熟栽培技術(shù)”之后的草莓栽培技術(shù)又一重要突破。 利用引進(jìn)甜查理鮮食草莓品種、卡瑪魯沙等出口草莓品種以及鉆石等珍稀草莓 品種，在建立的系統(tǒng)化高產(chǎn)栽培技術(shù)基礎(chǔ)上，通過工廠化育苗技術(shù)和全新的育青島農(nóng)業(yè)大學(xué)科技成果介紹 2017 －25－ 苗方法，以無公害栽培方式，促進(jìn)草莓花芽提早分化、超早成熟。 生產(chǎn)條件及經(jīng)濟(jì)效益預(yù)測(cè)：培育的草莓比現(xiàn)有草莓提前一至兩個(gè)月成熟， 可于 10 至 11 月上市銷售，畝產(chǎn)可達(dá) 4000kg。10-1
青島農(nóng)業(yè)大學(xué)
2021-01-12
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超分辨縱向偏振激光束
縱向偏振激光束作為一種特殊光束，它的主要偏振態(tài)與光束的傳播方向一致， 這與傳統(tǒng)的麥克斯韋方程所描述的光的偏振態(tài)與它的傳播方向垂直相矛盾;該光 束的尺寸可以小于系統(tǒng) 0.5 波長(zhǎng)衍射極限分辨率，達(dá)到 0.36 波長(zhǎng)，如果用于掃 描成像，可以實(shí)現(xiàn) 38%的分辨率提高，對(duì)于藍(lán)色 405 納米的激光，分辨率可以小 于90納米。
上海理工大學(xué)
2021-01-12
： 微量/超微量天平 ME/SE
產(chǎn)品詳細(xì)介紹
廣州市博勒泰貿(mào)易有限公司
2021-08-23
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一種微流控移液器槍頭
本發(fā)明公開了一種微流控移液器槍頭，包括本體和外囊，所述本體包括設(shè)在本體尾部區(qū)域內(nèi)的進(jìn)液通道、沿本體圓周周向排布的若干個(gè)濃縮微流道、設(shè)在本體外表面的空白液體出口，以及設(shè)在本體頭部區(qū)域內(nèi)的出液通道；濃縮微流道包括直流道、分叉流道、中間流道和兩路旁支流道，直流道一端與進(jìn)液通道連通，另一端與分叉流道連通，中間流道一端與分叉流道連通，另一端與出液通道連通，兩路旁支流道分別設(shè)在中間流道兩側(cè)，旁支流道的一端與分叉流道連通，另一端向本體外表面彎折并與空白液體出口連通。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，通量高，能利用微流體慣性效應(yīng)來實(shí)現(xiàn)微米級(jí)粒子的濃縮。
東南大學(xué)
2021-04-11
基于雙超時(shí)網(wǎng)絡(luò)報(bào)文的組流方法
一種基于雙超時(shí)網(wǎng)絡(luò)報(bào)文的組流方法，設(shè)置短超時(shí)和長(zhǎng)超時(shí)，當(dāng)報(bào)文到達(dá)測(cè)量器，從報(bào)文頭中提取流信息，在網(wǎng)絡(luò)流緩存中查找由所測(cè)量報(bào)文的網(wǎng)絡(luò)流記錄，如果找到所述的網(wǎng)絡(luò)流記錄，更新流結(jié)束標(biāo)識(shí)，否則在網(wǎng)絡(luò)流緩存中增加一條新的網(wǎng)絡(luò)流記錄，如果測(cè)量周期結(jié)束，則檢查網(wǎng)絡(luò)流緩存中的每條網(wǎng)絡(luò)流，如果所檢查網(wǎng)絡(luò)流的流結(jié)束標(biāo)識(shí)為1，則所檢查短超時(shí)判斷網(wǎng)絡(luò)流結(jié)束，否則根據(jù)長(zhǎng)超時(shí)判斷網(wǎng)絡(luò)流結(jié)束。
東南大學(xué)
2021-04-10
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地鐵A型車牽引及輔助變流系統(tǒng)
簡(jiǎn)述：地鐵牽引變流器基于國(guó)家“十一五”最新科技成果（項(xiàng)目：“城市軌道交通能饋式牽引供電系統(tǒng)及牽引傳動(dòng)系統(tǒng)研制”，編號(hào)： 2007BAA12B07 ），具有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，應(yīng)用于地鐵牽引傳動(dòng)系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)牽引電機(jī)驅(qū)動(dòng)及控制，具有模塊化、輕量化、低噪聲等特點(diǎn)，可完全替代國(guó)外進(jìn)口系統(tǒng)。該設(shè)備已通過鐵道部產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心機(jī)車車輛檢驗(yàn)站型式試驗(yàn)，在廣州地鐵 1 號(hào)線完成裝車試驗(yàn)，即將裝一列車。
北京交通大學(xué)
2021-04-13
基于雙超時(shí)網(wǎng)絡(luò)報(bào)文的組流方法
一種基于雙超時(shí)網(wǎng)絡(luò)報(bào)文的組流方法，設(shè)置短超時(shí)和長(zhǎng)超時(shí)，當(dāng)報(bào)文到達(dá)測(cè)量器，從報(bào)文頭中提取流信息，在網(wǎng)絡(luò)流緩存中查找由所測(cè)量報(bào)文的網(wǎng)絡(luò)流記錄，如果找到所述的網(wǎng)絡(luò)流記錄，更新流結(jié)束標(biāo)識(shí)，否則在網(wǎng)絡(luò)流緩存中增加一條新的網(wǎng)絡(luò)流記錄，如果測(cè)量周期結(jié)束，則檢查網(wǎng)絡(luò)流緩存中的每條網(wǎng)絡(luò)流，如果所檢查網(wǎng)絡(luò)流的流結(jié)束標(biāo)識(shí)為1，則所檢查短超時(shí)判斷網(wǎng)絡(luò)流結(jié)束，否則根據(jù)長(zhǎng)超時(shí)判斷網(wǎng)絡(luò)流結(jié)束，本發(fā)明采用兩個(gè)不同時(shí)間粒度的流超時(shí)機(jī)制，大大減少已經(jīng)結(jié)束流在緩存中的存在性，并減少一個(gè)流被分割成多段而需要在緩存中進(jìn)行多次輸出流記錄、生成新流記錄等消耗系統(tǒng)資源的操作，同時(shí)又減少后臺(tái)需要系統(tǒng)資源將多個(gè)被分割的短流合并成一個(gè)流。
東南大學(xué)
2021-04-13
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一種微流控芯片組件
本發(fā)明公開了一種微流控芯片組件，包括微流控芯片以及罩蓋在微流控芯片上的蓋片，所述微流控芯片上設(shè)有中心加樣口、圍繞中心加樣口的若干周側(cè)加樣口以及將若干周側(cè)加樣口分別與中心加樣口導(dǎo)通的流道；所述蓋片上設(shè)有與所述中心加樣口和周側(cè)加樣口對(duì)應(yīng)的通孔；所述微流控芯片與罩蓋轉(zhuǎn)動(dòng)配合，所述蓋片具有保證微流控芯片上所有加樣口與所述通孔對(duì)應(yīng)導(dǎo)通的加樣工作位，以及封堵所有周側(cè)加樣口的封裝工作位；所述微流控芯片與蓋片之間設(shè)有撥片，該撥片用于在蓋片處于封裝工作位時(shí)遮蓋所述中心加樣口。本發(fā)明的微流控芯片組件整體結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，使用方便，僅通過簡(jiǎn)單的旋轉(zhuǎn)即可實(shí)現(xiàn)微流控芯片工作狀態(tài)的切換，封裝和打開非常方便，實(shí)用性較強(qiáng)。
浙江大學(xué)
2021-04-13