高靈敏度有機(jī)污染檢測(cè)用聲表面波傳感器
團(tuán)隊(duì)長(zhǎng)期從事納米材料及納米結(jié)構(gòu)研究,在長(zhǎng)期納米結(jié)構(gòu)的制備及性能研究基礎(chǔ)上,與我國(guó)XX工程結(jié)合,開展高功率固體激光裝置運(yùn)行環(huán)境污染檢測(cè)方法研究,基于各種納米結(jié)構(gòu)制作的聲表面波傳感器檢測(cè)靈敏度高達(dá)pg/mm2(10 12g/mm2)量級(jí),實(shí)現(xiàn)了高精密測(cè)試,并且針對(duì)裝置運(yùn)行環(huán)境中不同有機(jī)污染物的復(fù)雜情況,實(shí)現(xiàn)了高選擇性、高靈敏度測(cè)量,達(dá)到了國(guó)際領(lǐng)先水平。已通過(guò)在線測(cè)試并在XX工程中應(yīng)用,實(shí)現(xiàn)訂貨。 同時(shí)在高靈敏度聲表面波傳感器的研究基礎(chǔ)上,團(tuán)隊(duì)在聲表面波傳感器的敏感芯片區(qū)建立了不同的敏感薄膜,如氧化硅薄膜、氧化鋅薄膜、SiO2/ZnO復(fù)合薄膜,實(shí)現(xiàn)了對(duì)環(huán)境污染氣體的高靈敏度響應(yīng),特別是在聲表面波傳感器芯片上建立了三維納米結(jié)構(gòu)敏感材料,同時(shí)對(duì)其化學(xué)修飾,以實(shí)現(xiàn)化學(xué)、生物毒劑的高靈敏度監(jiān)測(cè),目前正在和中電集團(tuán)進(jìn)行相關(guān)的聯(lián)合工作。 該傳感器可用于定量檢測(cè)/監(jiān)測(cè)各種真空、實(shí)驗(yàn)室、大氣環(huán)境中的微量有機(jī)污染物、化學(xué)毒劑和生物毒劑。
電子科技大學(xué)
2021-04-10