|
搜索
搜 索
高等教育領域數字化綜合服務平臺
用于預測多元拼合靶材制備的薄膜成分的預測方法
一種用于預測多元拼合靶材制備的薄膜成分的預測方法
一、項目分類
顯著效益成果轉化
二、成果簡介
現有物理氣相沉積（PVD）制備多元薄膜材料采用合金靶材作為靶源，生產過程中，薄膜成分的調控范圍受安裝的合金靶材的成分比例的限制。如果預期獲得納微復雜結構的復合薄膜，按照常規技術路線需要上百塊成分連續變化的合金靶材，這顯然是無法實現的。同時，采用合金靶材制備某些多元薄膜時，需要特高純度的或極端成分比例的靶材作為靶源，這類特殊靶材以現有技術難以制造。
為此，本發明研發出一種用于預測多元拼合靶材制備的薄膜成分的預測方法，利用本發明技術有助于新材料的研發和促進半導體器件、切削刀具涂層等高新技術的發展。
武漢理工大學
2022-08-12
一種防腐耐磨鐵基非晶薄膜及其制備方法
本發明公開了一種防腐耐磨鐵基非晶薄膜及其制備方法，其包 括的成分及該成分的原子百分比含量分別為：14.0～22.0at.％Cr，6.0～ 16.0at.％Mo，4.0～7.0at.％B，4.0～20.0at.％C，0.0～3.0at.％W 以及余 量的 Fe。其制備方法包含 S1 制備單一合金靶材；S2 選擇襯底材料， 將襯底表面進行平整化，然后清洗并吹干待用；S3 進行磁控濺射，其 中，背景真空度值不高于 5x10<sup
華中科技大學
2021-04-14
一種多層薄膜微結構自對準制備方法及裝置
本發明公開一種多層薄膜微結構自對準制備方法，通過分隔板 將噴頭內腔體縱向分為至少兩個腔室，在各腔室內注入不相溶的高分 子溶液，并匯聚于噴頭的噴嘴處；施加高壓靜電場，同時驅使接收板 做平面直線運動，在高壓靜電場作用下噴嘴處的溶液變形成泰勒錐， 從泰勒錐尖端拉出射流，射流中的多種高分子材料先后沿著接收板運 動的方向進行靜電紡絲，形成多層薄膜微結構。本發明還公開一種實 現上述方法的裝置，分隔板縱向設于噴嘴內，將噴嘴內腔體分隔為至 少左右兩個腔室；在噴嘴端部設有端部蓋板，端部蓋板與噴嘴端部之 間設有密封片；
華中科技大學
2021-04-14
一種有機-無機復合電致變色薄膜及其制備方法
本發明公開了一種有機-無機復合電致變色薄膜及其制備方法。該薄膜為聚苯胺與三氧化鎢的復合薄膜，其中含有5～80％質量分數的三氧化鎢，薄膜厚度為50～300nm，表面具有納米棒陣列形貌。該制備方法包括：將表面經羥基化處理的ITO玻璃或者ITO/PET基底垂直豎立并固定于反應容器中，將過氧化鎢酸溶液與苯胺溶液的混合溶液倒入其中并攪拌；再加入過硫酸銨溶液，攪拌下進行反應；反應完成后，取出沉積有薄膜的基底并沖洗、干燥而得。本發明制備方法實現了聚苯胺/氧化物在分子層次復合，工藝簡單，成分可方便控制，成本較低，易于實現工業化。制得的薄膜光譜調節范圍大、顏色豐富、響應速度快、循環壽命長，應用范圍廣泛。
浙江大學
2021-04-13
PT100型號薄膜鉑電阻低溫溫度計PI封裝
北京錦正茂科技有限公司
2022-03-26
PT100型號薄膜鉑電阻低溫溫度計低溫實驗
北京錦正茂科技有限公司
2022-06-13
一種雙波段薄膜光探測器及其制備方法
本發明屬于微納制造與光電子器件領域，并公開了一種雙波段 薄膜光探測器，包括基底薄片、第一電極層、第一 WSe2 層、石墨烯 層、第一 MoS2 層、第二電極層、介質層、第二 WSe2 層、第三電極 層、第二 MoS2 層和第四電極層,第一電極層設置在基底薄片上;第一 WSe2 層鋪設在基底薄片和第一電極層上;石墨烯層設置在第一 WSe2 層上;
華中科技大學
2021-04-14
基于PCB線圈的磁耦合諧振式無線輸電系統
該成果采用PCB線圈組成的磁耦合諧振式無線電能傳輸系統可實現中短距離無線供電，該系統的創新在于采用PCB線圈替代傳統的線繞線圈，銅線繞制的線圈容易變形而引起參數變化，對系統完全保持一致的諧振頻率增加了難度而PCB 板生產出來的線圈參數幾乎能完全保持一致，因此有利于保持系統的諧振頻率一致。
電子科技大學
2021-04-10
一種鐵氧體軟磁材料的注射成型方法
本發明公開了一種軟磁鐵氧體材料的注射成型方法。包括如下步驟：1)粉料制備：將鐵氧體粉料進行一次混磨，干燥后，將粉料進行預燒，將預燒后的粉料破碎后，再進行二次混磨，并進行干燥處理；2)混煉造粒：將步驟1)得到的粉料與粘結劑均勻混合后，混煉，得到混料，將混料粉碎；3)注射成型：將粉碎后的混料加熱，在壓力條件下，注入到模腔中，打開模具冷卻后即得到成型坯體；4)脫脂：將成型坯體置入三氯乙烯中脫脂，干燥，再進行熱脫脂；5)燒結：將脫脂后的成型坯體燒結，得到鐵氧體軟磁材料。本發明適合制備中小型形狀復雜、高精度的鐵氧體磁芯器件，所制備的鐵氧體軟磁材料具有密度大而均一、內部組織均勻、機械強度高和鐵損相對較低的特點。
浙江大學
2021-04-11
一種鐵氧體軟磁材料的注射成型方法
本發明公開了一種軟磁鐵氧體材料的注射成型方法。包括如下步驟：1)粉料制備：將鐵氧體粉料進行一次混磨，干燥后，將粉料進行預燒，將預燒后的粉料破碎后，再進行二次混磨，并進行干燥處理；2)混煉造粒：將步驟1)得到的粉料與粘結劑均勻混合后，混煉，得到混料，將混料粉碎；3)注射成型：將粉碎后的混料加熱，在壓力條件下，注入到模腔中，打開模具冷卻后即得到成型坯體；4)脫脂：將成型坯體置入三氯乙烯中脫脂，干燥，再進行熱脫脂；5)燒結：將脫脂后的成型坯體燒結，得到鐵氧體軟磁材料。本發明適合制備中小型形狀復雜、高精度的鐵氧體磁芯器件，所制備的鐵氧體軟磁材料具有密度大而均一、內部組織均勻、機械強度高和鐵損相對較低的特點。
浙江大學
2021-04-11