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浙江大學(xué)聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎(chǔ)研究、技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā)，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產(chǎn)率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關(guān)鍵核心技術(shù) 一、項目分類 關(guān)鍵核心技術(shù)突破 二、技術(shù)分析 如何通過超潔凈流控技術(shù)降低流控污染，減少曝光缺陷，提升曝光良率，是國產(chǎn)高端半導(dǎo)體制造裝備研制面臨的重大挑戰(zhàn)，直接關(guān)乎整機產(chǎn)品的產(chǎn)線應(yīng)用性能與市場競爭力。此外，作為各類半導(dǎo)體制造裝備的共性核心零部件，超潔凈流控部件市場被美國、日本等國壟斷，使我國半導(dǎo)體制造裝備產(chǎn)業(yè)面臨核心零部件“卡脖子”風(fēng)險。浙江大學(xué)流體動力與機電系統(tǒng)國家重點實驗室啟爾團隊所承擔的高端半導(dǎo)體制造裝備核心分系統(tǒng)之一的超潔凈流控系統(tǒng)，自2004年以來在國家863計劃和國家02專項支持，聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎(chǔ)研究、技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā)，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產(chǎn)率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關(guān)鍵核心技術(shù)，完成了超潔凈流控系統(tǒng)九大組件的研制和集成測試，為半導(dǎo)體制造設(shè)備掃描速度與產(chǎn)能的提高提供基礎(chǔ)理論與方法依據(jù)，同時自主研發(fā)的半導(dǎo)體機臺核心超潔凈流控零部件實現(xiàn)了產(chǎn)品化，突破了國外技術(shù)的封鎖，為我國半導(dǎo)體制造的發(fā)展與自主創(chuàng)新提供了基礎(chǔ)支撐。

產(chǎn)品詳細介紹精密烤箱 名稱：烤箱（精密烤箱） 型號：KB-TL-137 精密烤箱的主要用途： 主要用于工業(yè)生產(chǎn)中對產(chǎn)品的干燥、烘焙、熱處理等。 精密烤箱的產(chǎn)品特點： KBT系列精密烘箱測試空間共分8種標準規(guī)格，可滿足各種不同需要（另可根據(jù)生產(chǎn)或測試需要訂造非標尺寸）。 特殊設(shè)計之強制循環(huán)送風(fēng)系統(tǒng)，可靠保證工作溫度分布均勻度。 采用高效壓縮玻璃棉，保溫效果易顯著。 另有其它工業(yè)烤箱，100級無塵烤箱等供選擇。 精密烤箱的主要規(guī)格和技術(shù)參數(shù)： 內(nèi)箱尺寸：500X500X550 MM 精密烤箱溫度范圍 室溫-200℃（300℃）， 溫度穩(wěn)定度 ±0. 5℃， 溫度分布均勻度 ±2℃， 升溫時間 200℃約需50min， 內(nèi)/外箱材質(zhì) SUS 304#不銹鋼外箱：鋼板烤漆A：內(nèi)膽為鏡面不銹鋼 保溫材質(zhì) 高效壓縮玻璃棉， 保溫裝置 無熔絲開關(guān)，超溫保護開關(guān)，瓷質(zhì)保險絲 精密烤箱的一些配件 可調(diào)隔層板2-6件 電源1ф220VAC±10% 20A 溫度表 日本名廠“SHTIMADEN”PID配SSR輸出,風(fēng)機延時斷電功能(可另購配程式控制) 時間計 999小時跳字顯示 保險裝置 第一次超溫報警,第二次超溫切電功能,MCCB過載保護,溫度自整定 電熱 鰭片式散熱管形電熱管 運風(fēng)系統(tǒng) 強制送風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)及特別設(shè)計出風(fēng)口,溫度分布均勻度特佳 排氣煙道 葉片式設(shè)計可調(diào)出風(fēng)量 控制形成 溫度到達設(shè)定溫度后自動打開時間計,時間到達后切斷發(fā)熱電源,蜂鳴提示 科寶試驗設(shè)備有限公司 手機：常莉13538543665 電話：0769-82755898 0769-82755886 Q Q: 345123921 1106700866 傳真：0769-82755887 郵箱：[email protected] http://www.kb0769.com

 許多工業(yè)設(shè)備往往因為某個關(guān)鍵零部件表面的損壞，導(dǎo)致整個系統(tǒng)效能大幅度降低甚至報廢，造成極大地浪費。綜合應(yīng)用先進的表面涂層技術(shù)，不僅可以極大延長裝備關(guān)鍵零部件的壽命，提高產(chǎn)品質(zhì)量，甚至可以修復(fù)已損壞的關(guān)鍵零部件，實現(xiàn)裝備的再制造，達到節(jié)能、減排、降耗、環(huán)保之目的。 熱噴涂技術(shù)可使工件表面獲得不同于基體材料的特性，具備更優(yōu)良的強度、硬度、耐磨、耐蝕、耐熱、絕緣、導(dǎo)電、密封、抗氧化、隔熱、消毒、防微波輻射以及其它各種特殊物理化學(xué)性能。它不僅可以再制造修復(fù)關(guān)鍵零部件，使報廢的零部件

對于大型或超大型零部件，如大型箱體類零件上，常有軸承孔系以及面的平行、垂直等位置精度的要求，本技術(shù)區(qū)別于傳統(tǒng)的加工方法，利用特有的等分定位技術(shù)和車間現(xiàn)場條件，可方便地確定孔的對稱位置和關(guān)聯(lián)面間的位置，且加工或修正出具有很高位置精度的零部件。 工作原理：等分定位新技術(shù) + 特殊的定位處理技術(shù)

致力于高性能非調(diào)質(zhì)鋼鍛件關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)與應(yīng)用，通過鍛件一體化復(fù) 合鍛造成形技術(shù)、非調(diào)質(zhì)鋼曲軸和連桿熱溫復(fù)合鍛造成形工藝及專用模具、 以及非調(diào)質(zhì)鋼復(fù)雜構(gòu)件組織性能差異化控制技術(shù)等技術(shù)，創(chuàng)新性發(fā)明了非 調(diào)質(zhì)鋼在汽車零部件上應(yīng)用的關(guān)鍵技術(shù)，解決了非調(diào)質(zhì)鋼強度有余而韌性 不足的關(guān)鍵問題。利用該成果對非調(diào)質(zhì)鋼線材通過控制形變、冷傲、滾絲、 時效處理等工藝技術(shù)，研究開發(fā)的形變強化高強度緊固件達到GB/T3098. 1 中的10.9級和12.&

型號： XD0620 產(chǎn)品特點：緊急拍停開關(guān)、速度無級可調(diào)、四點式轉(zhuǎn)動刀架、全套金屬變速齒輪、高精確度。 基于高精密的產(chǎn)品技術(shù)，杰出的性能，使用眾多的附件可進行多萬面的工作。 技術(shù)參數(shù) 主軸精度：0.02mm機床最大回轉(zhuǎn)直徑：250mm最大工件長度：550mm三爪卡盤外徑：125mm拖板橫向行程：llOmm拖板縱向行程：70mm主軸通孔直徑：26mm主軸孔莫氏錐度：MT#4尾軸孔莫氏錐度：MT#2車削公制螺紋范圍：0.2~3.5mm車削英制螺紋范圍：8~56TPI主軸轉(zhuǎn)速范圍（無級調(diào)速）：50~2500轉(zhuǎn)/分鐘輸出功率：750W凈重/毛重 ：115KG/145KG車床外形尺寸：1150mm*560mm*530mm包裝尺寸：1220mm*580mm*580mm隨機配件：125mm三爪卡盤、莫氏2號和莫氏4號呆頂尖、金屬交換齒輪套件、油壺、2把外圓車刀可選配件：11件套車刀、中心架、跟刀架、四爪卡盤、莫氏2號活絡(luò)頂尖、尾座夾頭帶錐柄

1. 具有自主知識產(chǎn)權(quán)的復(fù)雜服役條件下強度與耐久性評價技術(shù)：載荷譜處理新技術(shù)——有機地結(jié)合強度的動態(tài)變化特征等的載荷譜處理新技術(shù)；強度與耐久性快速試驗和評價技術(shù)——基于動態(tài)強度特征零部件耐久性快速評價技術(shù)；復(fù)雜載荷下零部件疲勞壽命預(yù)測技術(shù)——有機的結(jié)合載荷強化和損傷特性、基于強度特征的疲勞累積損傷理論進行復(fù)雜載荷下汽車零部件壽命預(yù)測和評價。   2.基于載荷與強度特性的輕量化設(shè)計技術(shù)：具有自主產(chǎn)權(quán)的基于強度特征的輕量化設(shè)計方法——基于零部件載荷譜和強度特征進行輕量化設(shè)計，該方法能夠充分發(fā)揮材料的強度潛能，疲勞強度和疲勞壽命設(shè)計更加合理；在零部件的輕量化設(shè)計中把靜強度、疲勞強度和壽命、熱處理要求、動態(tài)特性和成本有機結(jié)合起來進行，把產(chǎn)品的強度與耐久性延伸到成形工藝和熱處理強化工藝，把成形工藝-熱處理工藝-產(chǎn)品疲勞耐久性能關(guān)系有機的結(jié)合起來，成功的應(yīng)用于等速萬向傳動中間軸自主開發(fā)設(shè)計中。

該項目是國家部委項目，現(xiàn)處于實驗室研究階段。 項目主要研究內(nèi)容如下： （1）關(guān)鍵構(gòu)件載荷譜編譜平臺 建立以轉(zhuǎn)向架構(gòu)架標定試驗臺為主要裝備的關(guān)鍵構(gòu)件載荷譜編譜平臺，該平臺以多通道、高精度轉(zhuǎn)向架測力構(gòu)架標定加載系統(tǒng)為主要設(shè)備，配以多通道協(xié)同作用控制軟件和相應(yīng)的加載工裝，完成轉(zhuǎn)向架載荷譜測試中測力構(gòu)架的載荷標定，這是確保載荷譜研究圓滿完成所必需的基本試驗手段。 （2）載荷線路測試與評估平臺技術(shù) 建立以大容量、多通道、高信噪比（包括無線測量）的載荷線路測試與評估平臺技術(shù)，該平臺以高信噪比動態(tài)數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)和無線遙測數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)為主要設(shè)備，能夠在高速動車組運行時，全程往返連續(xù)測試高速動車組轉(zhuǎn)向架構(gòu)架、輪軸等關(guān)鍵部件的載荷與動應(yīng)力。    項目主要技術(shù)創(chuàng)新點如下：?  建立復(fù)雜載荷系下載荷標定技術(shù)和方法；?  載荷譜的損傷一致性編譜準則；?  高置信度編譜技術(shù)；?  各類測力裝置和大容量高抗干擾能力的測試系統(tǒng)；?  可靠性評估技術(shù)。 本項目將形成以轉(zhuǎn)向架構(gòu)架標定試驗臺、結(jié)構(gòu)疲勞試驗系統(tǒng)和材料疲勞試驗系統(tǒng)為主要裝備的關(guān)鍵構(gòu)件載荷譜編譜平臺和多通道高信噪比測試設(shè)備為主體的載荷線路測試與評估平臺。    應(yīng)用范圍： 高速列車車輪、車軸、構(gòu)架、軸箱、齒輪箱、懸吊螺栓、懸吊支座等走行及懸掛系關(guān)鍵零部件的設(shè)計及試驗評估。

內(nèi)容介紹： 經(jīng)過多年的技術(shù)基礎(chǔ)研究和工程應(yīng)用研究，研創(chuàng)出了鋁合金、鈦合 金、高溫合金等材料復(fù)雜形狀鍛件等溫精密鍛造和超塑性鍛造新技術(shù)， 已在多個工廠和多項工程上獲得應(yīng)用。主要內(nèi)容包括：研制出了等溫鍛 模具新材料ZGM2；設(shè)計出了多種等溫鍛模具新結(jié)構(gòu)；研創(chuàng)出了材料細晶 化毛坯制備、精密制坯與成形、防止精鍛件出模變形和熱處理變形、防 護潤滑、化偶、表面質(zhì)量控

1、技術(shù)原理：在刀柄或主軸內(nèi)部嵌入超聲換能器，通過電磁感應(yīng)無線傳輸驅(qū)動換能器，在發(fā)生器驅(qū)動下，在刀具末端產(chǎn)生高頻率機械振動，輔助旋轉(zhuǎn)能量，提高加工效率與刀具壽命。2、主要參數(shù)： 頻率：20-130kHz；功率：