一種多點(diǎn)接觸模式下的大面積納米壓印硅模具加工方法
一種多點(diǎn)接觸模式下的大面積納米壓印硅模具加工方法,它將硅(100)單晶片置于多微球的多點(diǎn)接觸板垂直下方位置,再使硅片與多點(diǎn)接觸板兩者垂直相對運(yùn)動(dòng)至發(fā)生接觸,并達(dá)到一定接觸載荷F;使多點(diǎn)接觸板和硅片按照既定軌跡相對運(yùn)動(dòng),進(jìn)行刻劃;刻劃后,將硅片放入質(zhì)量分?jǐn)?shù)為15~25%的KOH溶液中腐蝕一段分鐘,即可得到具有預(yù)先設(shè)定結(jié)構(gòu)的納米壓印硅模具。該方法在多點(diǎn)接觸模式下進(jìn)行,可以方便地控制所加工納米壓印硅模具的圖案、排列方式等;刻劃過程中硅片與多點(diǎn)接觸板始終保持平行狀態(tài)。該方法的設(shè)備和原材料成本低,操作簡便、步驟簡單,能一次性完成大面積的硅(100)單晶片納米壓印模具加工,具有明顯的低成本、高效率的特點(diǎn)。
西南交通大學(xué)
2016-10-20