一種基于 MEMS 系統(tǒng)的高靈敏度高分辨率的 微型溫度傳感器及監(jiān)測(cè)方法
本發(fā)明涉及一種基于 MEMS 系統(tǒng)的高靈敏度高分辨率的微型溫度傳感器及監(jiān)測(cè)方法,包括兩組 V 型彎曲梁組件,其中每組 V 型彎曲梁組件包括若干上下疊放的 V 型梁,所述每組 V 型彎曲梁組件的所 有 V 型梁同中心,且同時(shí)固定在一個(gè)固定塊上;兩組 V 型彎曲梁組件通過(guò)連接桿與固定在一個(gè)杠桿的 一端,所述杠桿另一端設(shè)有壓電陶瓷,壓電陶瓷的上下斷面分別是接電的上電極和下電極。本發(fā)明可以 感應(yīng)極其微小的溫度變化并且將之轉(zhuǎn)換為較大的電信號(hào)輸出,能夠顯著
武漢大學(xué)
2021-04-14