微型集成式固體電解質(zhì)環(huán)境監(jiān)測氣體傳感器
一、項目簡介隨著工業(yè)化進程的加速推進,人類社會各方面的發(fā)展對化石燃料的消耗與日俱增,而由此產(chǎn)生的大氣環(huán)境污染問題也愈發(fā)嚴重,對人類的生存和健康、自然生態(tài)環(huán)境造成極大的損害。基于固體電解質(zhì)的氣體傳感器,結合先進的 MEMS 和鍍膜技術,對于 CO 、SO 等污染性氣體濃度的實時監(jiān)測、防治十分重要。22項目以 Li3PO 、Li3PO -Li SiO 薄膜固體電解質(zhì)薄膜作為導電介質(zhì),研制 CO 、34422SO 等環(huán)境監(jiān)測氣體傳感器。通過固體電解質(zhì)薄膜的 CO 、SO 氣體傳感器的響應222原理分析,設計了集成式環(huán)境監(jiān)測氣體傳感器,選擇了合適的反應電極材料,結合 MEMS 薄厚膜工藝,采用熱阻蒸發(fā)鍍膜工藝沉積 Li PO 固體電解質(zhì)薄膜,絲網(wǎng)34印刷厚膜技術制備反應電極和加熱電極,完成了集成式微型 CO 、SO 氣體傳感器22的研制、封裝、測試,為工業(yè)應用奠定了基礎。微型氣體傳感器可實現(xiàn) CO 和 SO22氣體的高精度監(jiān)測,并具有體積小、功耗低、成本低的特點。西安交通大學國家技術轉(zhuǎn)移中心二、技術指標(性能參數(shù))芯片尺寸封裝方式1.6mm x 1.8mmTO 封裝檢測范圍測量誤差工作電壓傳感
西安交通大學
2021-04-10