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浙江大學(xué)聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎(chǔ)研究、技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā)，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產(chǎn)率的1mk級(jí)溫度測(cè)控、5ppt級(jí)金屬離子測(cè)控、20μm級(jí)氣泡測(cè)控、50nm級(jí)殘留液膜測(cè)控等關(guān)鍵核心技術(shù) 一、項(xiàng)目分類 關(guān)鍵核心技術(shù)突破 二、技術(shù)分析 如何通過超潔凈流控技術(shù)降低流控污染，減少曝光缺陷，提升曝光良率，是國(guó)產(chǎn)高端半導(dǎo)體制造裝備研制面臨的重大挑戰(zhàn)，直接關(guān)乎整機(jī)產(chǎn)品的產(chǎn)線應(yīng)用性能與市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。此外，作為各類半導(dǎo)體制造裝備的共性核心零部件，超潔凈流控部件市場(chǎng)被美國(guó)、日本等國(guó)壟斷，使我國(guó)半導(dǎo)體制造裝備產(chǎn)業(yè)面臨核心零部件“卡脖子”風(fēng)險(xiǎn)。浙江大學(xué)流體動(dòng)力與機(jī)電系統(tǒng)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室啟爾團(tuán)隊(duì)所承擔(dān)的高端半導(dǎo)體制造裝備核心分系統(tǒng)之一的超潔凈流控系統(tǒng)，自2004年以來在國(guó)家863計(jì)劃和國(guó)家02專項(xiàng)支持，聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎(chǔ)研究、技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā)，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產(chǎn)率的1mk級(jí)溫度測(cè)控、5ppt級(jí)金屬離子測(cè)控、20μm級(jí)氣泡測(cè)控、50nm級(jí)殘留液膜測(cè)控等關(guān)鍵核心技術(shù)，完成了超潔凈流控系統(tǒng)九大組件的研制和集成測(cè)試，為半導(dǎo)體制造設(shè)備掃描速度與產(chǎn)能的提高提供基礎(chǔ)理論與方法依據(jù)，同時(shí)自主研發(fā)的半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)核心超潔凈流控零部件實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)品化，突破了國(guó)外技術(shù)的封鎖，為我國(guó)半導(dǎo)體制造的發(fā)展與自主創(chuàng)新提供了基礎(chǔ)支撐。

一種振動(dòng)電機(jī)直驅(qū)式雙質(zhì)體單筒振動(dòng)磨機(jī)，屬于固體物料的超細(xì)粉磨設(shè)備。 包括有磨筒(1)、上質(zhì)體 (2)、下質(zhì)體(5)、振動(dòng)電機(jī)(3)、主振彈簧(4)、減 振彈簧(6)、底板(7)；其中上述磨筒(1)固結(jié)于上質(zhì)體 (2)之上；上述上質(zhì) 體(2)與下質(zhì)體(5)之間依靠主振彈簧(4)及上、下質(zhì)體上的導(dǎo)柱相聯(lián)接； 上述下質(zhì)體 (5)通過減振彈簧(6)支承在底板(7)上；上述振動(dòng)電機(jī)倒裝在 上質(zhì)體(2)的托板下。工作時(shí)，上、下質(zhì)體以 不同的振幅和加速度振動(dòng)，上質(zhì)體 的振幅和加速度較大，可提高磨筒內(nèi)介質(zhì)對(duì)物料的沖擊破碎能力；下質(zhì)體的振幅 和加速度較小，再通過隔振彈簧可大大減小傳給基礎(chǔ)的動(dòng)載荷。 

本實(shí)用新型變剛度雙質(zhì)體二級(jí)動(dòng)擺混沌振動(dòng)磨涉及一種振動(dòng)磨，特別是一種具有變剛度、雙質(zhì)體、二 級(jí)動(dòng)擺的混沌振動(dòng)磨。包括上質(zhì)體、下質(zhì)體、主振彈簧、隔振彈簧、底座等，其中上質(zhì)體主要包括振動(dòng)電 機(jī)、筒體、右聯(lián)接架、左聯(lián)接架和配重體，筒體主要包括進(jìn)料口、端蓋、出料口和磨介。上質(zhì)體與下質(zhì)體 之間通過主振彈簧相聯(lián)接，主振彈簧內(nèi)徑與上、下質(zhì)體上的彈簧導(dǎo)柱外徑相配合；下質(zhì)體通過隔振彈簧支 承在底座上；所述振動(dòng)電機(jī)包括動(dòng)擺組件，動(dòng)擺組件在振動(dòng)電機(jī)軸左右兩端呈對(duì)稱分布，所述動(dòng)擺組件包 括定擺、平鍵、軸套、一級(jí)動(dòng)擺、軸承一、振動(dòng)電機(jī)軸、二級(jí)動(dòng)擺軸、軸承二和二級(jí)動(dòng)擺。

本實(shí)用新型變剛度雙質(zhì)體振動(dòng)電機(jī)式特大型振動(dòng)磨涉及一種振動(dòng)磨，特別是一種具有變剛度、雙質(zhì)體、 振動(dòng)電機(jī)式的一般振動(dòng)磨或特大型振動(dòng)磨；它包括上質(zhì)體、下質(zhì)體、主振彈簧、隔振彈簧和底板，其中上 質(zhì)體包括筒體、進(jìn)料口、端蓋、出料口、振動(dòng)電機(jī)、右聯(lián)接架、磨介、左聯(lián)接架和配重體；筒體通過主振 彈簧可能動(dòng)地支承在下質(zhì)體上，在筒體的右側(cè)用右聯(lián)接架剛性固結(jié)有振動(dòng)電機(jī)，驅(qū)動(dòng)側(cè)的主振彈簧的軸線 位于筒體和振動(dòng)電機(jī)的重力軸線之間；下質(zhì)體通過隔振彈簧支承在底座上，在筒體的左側(cè)用左聯(lián)接架剛性 固結(jié)有與右側(cè)質(zhì)量相平衡的配重體。

產(chǎn)品詳細(xì)介紹ST4-4L系列 無污染第三方檢測(cè)磨土機(jī)是混合、細(xì)磨、小樣制備、納米材料分散、新產(chǎn)品研制和小批量生產(chǎn)高新技術(shù)材料的必備裝置。該產(chǎn)品體積小、功能全、效率高、噪聲低。主要用于地質(zhì)、土壤、環(huán)保、第三方檢測(cè)等部門的土壤分析前處理研磨。工作原理：無污染第三方檢測(cè)磨土機(jī)的必備裝置。該產(chǎn)品體積小、功能全、效率高、噪聲低。主要用于地質(zhì)、土壤、環(huán)保、第三方檢測(cè)等部門的土壤分析前處理研磨。無污染第三方檢測(cè)磨土機(jī)是在同一轉(zhuǎn)盤上裝有四個(gè)研磨罐，當(dāng)轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，研磨罐在繞轉(zhuǎn)盤軸公轉(zhuǎn)的同時(shí)又圍繞自身軸心自轉(zhuǎn)。罐中磨球在高速運(yùn)動(dòng)中相互碰撞，研磨和混合樣品。該產(chǎn)品能用干、濕兩種方法研磨和混合粒度不同、材料各異的產(chǎn)品，研磨產(chǎn)品最小粒度可至0.1微米（即1.0×10mm-4）。1．無污染第三方檢測(cè)磨土機(jī) 主機(jī)1臺(tái)，研磨罐4只。2. 傳動(dòng)方式：采用最先進(jìn)的進(jìn)口(瑞士)傳動(dòng)裝置（噪音小），自動(dòng)精密配合，無需手工調(diào)節(jié)；且使用壽命可長(zhǎng)達(dá)10年（如出現(xiàn)傳動(dòng)裝置問題，10年內(nèi)免費(fèi)更換），真正做到一勞永逸。該產(chǎn)品的核心部件是內(nèi)嵌的4根圓柱形橡膠條，該橡膠條具有記憶功能，不易變形。臂和座之間最大可以扳轉(zhuǎn)+/-32度，當(dāng)傳動(dòng)裝置松動(dòng)變長(zhǎng)時(shí)，臂能自動(dòng)回彈，使得傳動(dòng)裝置始終處在精密配合狀態(tài)。3．干磨或濕磨均可，一次可研磨兩個(gè)樣品或四個(gè)樣品，裝樣量為：研磨罐容積的三分之二。4．提供10種以上不同材質(zhì)的研磨套件(研磨罐與研磨球)。5．壓力可以設(shè)置(通過旋鈕)，數(shù)字式定時(shí)。6．轉(zhuǎn)速：公 轉(zhuǎn)： 50-400轉(zhuǎn)/分鐘 自 轉(zhuǎn)： 100-800轉(zhuǎn)/分鐘7．研磨室設(shè)計(jì)密封防塵，帶觀察窗。8．最大進(jìn)料粒度：土壤料≤10mm。9．最小出料粒度：最小可達(dá)0.1um(即1.0×10mm-4)，粒度可以控制。10．研磨罐材質(zhì)有：硬質(zhì)鋼、不銹鋼、碳化鎢、瑪瑙、燒結(jié)剛玉、氧化鋯、硬瓷、尼龍、聚氨酯、聚四氟乙烯、碳化硼研磨罐等，與介質(zhì)接觸的材質(zhì)均不能給介質(zhì)帶來污染。11．最大連續(xù)工作時(shí)間(滿負(fù)荷)：90小時(shí)， 定時(shí)總時(shí)間為: 9999分鐘，交替運(yùn)行定時(shí)時(shí)間為：1-999分鐘。12．控制方式：按鍵（LED顯示）或觸屏，變頻無級(jí)調(diào)速、程控控制，手動(dòng)、自動(dòng)定時(shí)正反轉(zhuǎn)，定時(shí)關(guān)機(jī)。13．無污染第三方檢測(cè)磨土機(jī) 電機(jī)轉(zhuǎn)速：0-1400rpm、功率0.75kw、電壓220V、50HZ。14．無污染第三方檢測(cè)磨土機(jī) 型號(hào)（每臺(tái)的總?cè)萘浚?.2L、0.4L、0.6L、1L、2L、4L、等。無污染第三方檢測(cè)磨土機(jī)（配套研磨罐材質(zhì)有）:瑪瑙、不銹鋼、不銹鋼真空、水晶、陶瓷、氧化鋯、聚四氟乙烯、尼龍、聚胺脂、硬質(zhì)合金等。每四只球磨罐為一套，每套研磨罐配備相應(yīng)的磨球與墊片。

該項(xiàng)目應(yīng)用領(lǐng)域：可替代現(xiàn)有各種管殼式換熱器方案，尤其對(duì)貴重材料應(yīng)用的經(jīng)濟(jì)性更好，如銅管干式蒸發(fā)器、鈦管閉式冷卻器等。

開發(fā)了一種新型微流控注射器“濾頭”，通過簡(jiǎn)單將樣品注入濾頭即可實(shí)現(xiàn)微粒的“片上濃縮”