面向物聯(lián)網(wǎng)的硅基固支梁可重構(gòu)SIW帶通濾波器
本發(fā)明公開了一種面向物聯(lián)網(wǎng)的硅基固支梁可重構(gòu)SIW帶通濾波器,包括SIW帶通濾波器、轉(zhuǎn)接結(jié)構(gòu)(3)和MEMS固支梁結(jié)構(gòu)。SIW帶通濾波器包括相互級(jí)聯(lián)的SIW諧振腔(9),相鄰的SIW諧振腔之間存在耦合窗口(14),MEMS固支梁結(jié)構(gòu)設(shè)置于耦合窗口中。在一些特定的需要控制無(wú)源濾波器通帶中心頻率頻繁切換的電路中,本發(fā)明通過MEMS固支梁結(jié)構(gòu)很好的避免了需要依靠增加濾波器數(shù)量去控制電路的問題,并且MEMS固支梁結(jié)構(gòu)的閉合所需要的電壓較小也基本不會(huì)影響電路的正常工作,能夠有效地降低電路控制的功耗。MEMS固支梁(6)可以實(shí)現(xiàn)快速的DOWN態(tài)和UP態(tài)的轉(zhuǎn)換,可以有效地實(shí)現(xiàn)微波電路中對(duì)濾波器濾波范圍的控制。
東南大學(xué)
2021-04-11