工業(yè)激光器
成果創(chuàng)新點(diǎn) 光柵尺寸在國(guó)際上居于領(lǐng)先地位,最大達(dá)到了 1400mm, 遠(yuǎn)超對(duì)手的 940mm;研制了一系列國(guó)內(nèi)首臺(tái)(套)具有自主知 識(shí)產(chǎn)權(quán)的米量級(jí)光柵研制工藝關(guān)鍵設(shè)備;在國(guó)際上首創(chuàng)了 曝光拼接方法,實(shí)現(xiàn)了利用小口徑曝光系統(tǒng),制作出了遠(yuǎn) 大于曝光系統(tǒng)口徑的光柵;掌握了脈沖壓縮光柵設(shè)計(jì)、工 藝容差分析和工藝過(guò)程控制技術(shù),通過(guò)對(duì)曝光監(jiān)測(cè)、顯影 監(jiān)測(cè)和刻蝕監(jiān)測(cè)來(lái)保證光柵制作工藝的穩(wěn)定性,保證了光
中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)
2021-04-14