硅基縫隙耦合式T型結(jié)的直接式毫米波信號檢測器
本發(fā)明的硅基縫隙耦合式T型結(jié)的直接式毫米波信號檢測器是由共面波導傳輸線、縫隙耦合結(jié)構(gòu)、移相器、單刀雙擲開關、T型結(jié)功分器、T型結(jié)功合器以及直接式熱電式功率傳感器所構(gòu)成,該結(jié)構(gòu)是制作在高阻Si襯底上,其上有四個縫隙耦合結(jié)構(gòu),上方的兩個縫隙耦合結(jié)構(gòu)實現(xiàn)信號的頻率測量,下方的兩個縫隙耦合結(jié)構(gòu)實現(xiàn)信號的相位測量,在前后縫隙之間有一個移相器;T型結(jié)功分器和T型結(jié)功合器主要是由共面波導傳輸線、扇形缺陷結(jié)構(gòu)和空氣橋組成;直接式熱電式功率傳感器由共面波導傳輸線、熱電偶和隔直電容所構(gòu)成,熱電偶是由金屬臂和半導體臂串聯(lián)
東南大學
2021-04-14