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挑流-射流聯(lián)合消能系統(tǒng)利用下泄的高速水流沖擊溢流堰上葉輪轉(zhuǎn)動(dòng)，通過變速器加速發(fā)電機(jī)旋轉(zhuǎn)發(fā)電，為置于水墊塘中的增壓泵供電，增壓泵的矩形出水口向上噴射出的面狀水流與溢流壩面挑射后下泄的面狀水流在空中碰撞消能，沖擊葉輪過程進(jìn)行底坎消能，在完成底坎消能和對(duì)沖消能后，余能將在水墊塘得到進(jìn)一下的消減。

浙江大學(xué)聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎(chǔ)研究、技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā)，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產(chǎn)率的1mk級(jí)溫度測控、5ppt級(jí)金屬離子測控、20μm級(jí)氣泡測控、50nm級(jí)殘留液膜測控等關(guān)鍵核心技術(shù) 一、項(xiàng)目分類 關(guān)鍵核心技術(shù)突破 二、技術(shù)分析 如何通過超潔凈流控技術(shù)降低流控污染，減少曝光缺陷，提升曝光良率，是國產(chǎn)高端半導(dǎo)體制造裝備研制面臨的重大挑戰(zhàn)，直接關(guān)乎整機(jī)產(chǎn)品的產(chǎn)線應(yīng)用性能與市場競爭力。此外，作為各類半導(dǎo)體制造裝備的共性核心零部件，超潔凈流控部件市場被美國、日本等國壟斷，使我國半導(dǎo)體制造裝備產(chǎn)業(yè)面臨核心零部件“卡脖子”風(fēng)險(xiǎn)。浙江大學(xué)流體動(dòng)力與機(jī)電系統(tǒng)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室啟爾團(tuán)隊(duì)所承擔(dān)的高端半導(dǎo)體制造裝備核心分系統(tǒng)之一的超潔凈流控系統(tǒng)，自2004年以來在國家863計(jì)劃和國家02專項(xiàng)支持，聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎(chǔ)研究、技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā)，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產(chǎn)率的1mk級(jí)溫度測控、5ppt級(jí)金屬離子測控、20μm級(jí)氣泡測控、50nm級(jí)殘留液膜測控等關(guān)鍵核心技術(shù)，完成了超潔凈流控系統(tǒng)九大組件的研制和集成測試，為半導(dǎo)體制造設(shè)備掃描速度與產(chǎn)能的提高提供基礎(chǔ)理論與方法依據(jù)，同時(shí)自主研發(fā)的半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)核心超潔凈流控零部件實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)品化，突破了國外技術(shù)的封鎖，為我國半導(dǎo)體制造的發(fā)展與自主創(chuàng)新提供了基礎(chǔ)支撐。

本發(fā)明的固支梁直接加熱式微波信號(hào)檢測器由六端口固支梁耦合器，通道選擇開關(guān)，微波頻率檢測器，微波相位檢測器，直接加熱式微波功率傳感器級(jí)聯(lián)構(gòu)成；六端口固支梁耦合器由共面波導(dǎo)，介質(zhì)層，空氣層和固支梁構(gòu)成；六端口固支梁耦合器的第一端口到第三端口、第四端口及到第一端口到第五端口、第六端口的功率耦合度分別相同，待測信號(hào)經(jīng)第一端口輸入，并由第二端口輸出直接加熱式微波功率傳感器，由第四端口，第六端口輸出微波相位檢測器，由第三端口，第五端口輸出到通道選擇開關(guān)；通道選擇開關(guān)的第七端口和第八端口接直接加熱式微波功率傳感器

本發(fā)明的固支梁直接加熱式微波信號(hào)檢測儀器由傳感器、模數(shù)轉(zhuǎn)換、ＭＣＳ５１單片機(jī)和液晶顯示四大模塊組成，傳感器由六端口固支梁耦合器，通道選擇開關(guān)，微波頻率檢測器，微波相位檢測器，直接加熱式微波功率傳感器級(jí)聯(lián)構(gòu)成；六端口固支梁耦合器的第一端口到第三端口、第四端口及到第一端口到第五端口、第六端口的功率耦合度分別相同，信號(hào)經(jīng)第一端口輸入，并由第二端口輸出直接加熱式微波功率傳感器，由第四端口，第六端口輸出微波相位檢測器，由第三端口，第五端口輸出到通道選擇開關(guān)；通道選擇開關(guān)的第七端口和第八端口接直接加熱式微波功率

本發(fā)明是一種苯胺的固相電致化學(xué)發(fā)光檢測方法，具體方法包括：1）光學(xué)復(fù)合納米纖維Ru-AuNPs-PA6的制備；2）固相電致化學(xué)發(fā)光傳感系統(tǒng)構(gòu)建與優(yōu)化；3）苯胺定量檢測。經(jīng)靜電紡絲制備電致化學(xué)發(fā)光活性物聯(lián)吡啶釕摻雜的納米金膠/尼龍6光學(xué)復(fù)合納米纖維Ru-AuNPs-PA6，利用Ru-AuNPs-PA6構(gòu)建固相電致化學(xué)發(fā)光傳感系統(tǒng)并進(jìn)行相關(guān)參數(shù)優(yōu)化，應(yīng)用該傳感系統(tǒng)定量檢測苯胺。本發(fā)明建立具有高靈敏度、高穩(wěn)定性、寬線性范圍、低檢出限及傳感系統(tǒng)可重復(fù)利用等特點(diǎn)的苯胺的固相電致化學(xué)發(fā)光檢測方法。

中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)微尺度物質(zhì)科學(xué)國家研究中心和生命科學(xué)與醫(yī)學(xué)部周叢照教授、陳宇星教授課題組闡明了藍(lán)藻分子伴侶Raf1協(xié)助核酮糖-1,5-二磷酸羧化酶/加氧酶（RuBisCO）組裝的分子機(jī)理，發(fā)現(xiàn)RuBisCO組裝和成熟過程的多層次精細(xì)動(dòng)態(tài)調(diào)控網(wǎng)絡(luò)，為人工改造RuBisCO以提高光合作用效率奠定了基礎(chǔ)。該研究成果在線發(fā)表在《Nature Plants》上

該測試系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)手動(dòng)/全自動(dòng)高精度高壓氣體吸脫附過程中重要參數(shù)和曲線的測試。配有專用的 LabVIEW 測控軟件，所使用的管路 1/4 寸鋼管，帶旋片式真空泵，加熱裝置為開式爐，樣品管為 316 不銹鋼，樣品容量為 0-1g(Mg)。在鎳氫電池，儲(chǔ)氫材料，二氧化碳捕獲，氚工程，頁巖氣，煤層氣，催化劑，吸附制冷等領(lǐng)域有廣闊的應(yīng)用前景。