場(chǎng)效應(yīng)晶體管的制備方法及利用其制備的場(chǎng)效應(yīng)晶體管
本發(fā)明公開了一種利用電流體直寫工藝制備場(chǎng)效應(yīng)晶體管的方 法,包括:(1)在基板上制備有機(jī)半導(dǎo)體薄膜;(2)利用電流體直寫工藝, 在具有半導(dǎo)體薄膜的基板上制備平行的直線纖維;(3)通過電流體直寫 制備與之垂直的平行介電纖維;(4)在基板上真空沉積金屬;(5)在介電 纖維兩端涂覆導(dǎo)電銀漿,引出柵電極。本發(fā)明還公開了相應(yīng)的產(chǎn)品。 本發(fā)明的方法利用介電微納纖維得到晶體管溝道,溝道長(zhǎng)度尺寸與纖 維直徑尺寸相當(dāng),能夠達(dá)到亞微米甚至納米級(jí),同時(shí)該纖維也是晶體 管的絕緣層。另外通過一次金屬真空沉積,可同時(shí)形成場(chǎng)效應(yīng)
華中科技大學(xué)
2021-04-14