一種基于SOI封裝的六軸微慣性器件及其加工方法
本發(fā)明公開了一種基于SOI封裝的六軸微慣性器件,包括單片集成的六軸微慣性器件、玻璃襯底、金屬電極、金屬引線、SOI蓋帽和SOI密封墻;六軸微慣性器件通過陽極鍵合工藝鍵合在玻璃襯底上;金屬電極為一個以上,均勻設(shè)置在玻璃襯底一側(cè),金屬電極通過金屬引線與六軸微慣性器件相接,SOI蓋帽設(shè)在玻璃襯底正上方,SOI密封腔設(shè)在SOI蓋帽和SOI密封墻之間,形成空腔結(jié)構(gòu);每個金屬電極正上方的SOI蓋帽上設(shè)有梯形電極孔,梯形電極孔正下方的SOI密封墻上設(shè)有垂直貫通;梯形電極孔、垂直貫通與金屬電極一一對應(yīng)。本發(fā)明具有全解耦、質(zhì)量小、結(jié)構(gòu)精巧、成本低和便于批量生產(chǎn)等優(yōu)點,在單個器件內(nèi)同時實現(xiàn)了對三軸的加速度和角速度的檢測,應(yīng)用范圍廣,有著良好的市場前景。
東南大學
2021-04-11