微納材料表面納米包覆技術(shù)和裝備
微納材料表面納米包覆是提升其功能特性的關(guān)鍵,是微納制造研究領(lǐng)域的國(guó)際前沿,亦是航空航天、能源環(huán)保、發(fā)光顯示等領(lǐng)域的共用技術(shù)。納米包覆面臨著精度不可控、不均勻、不致密等“頑疾”。團(tuán)隊(duì)提出多場(chǎng)耦合克服微納材料內(nèi)聚力的離心流化策略,保障了微納材料充分分散包覆后的固有物化特性;揭示離心壓差補(bǔ)償?shù)膭?dòng)態(tài)包覆機(jī)理,實(shí)現(xiàn)了可控致密的均勻包覆層制備;提出行星流化的微納材料分散策略,國(guó)際首創(chuàng)行星流化原子層沉積裝備,批量一致性達(dá)99%以上。申報(bào)技術(shù)受到包括美國(guó)斯坦福大學(xué)、阿貢國(guó)家實(shí)驗(yàn)室等機(jī)構(gòu),美國(guó)、德國(guó)、加
華中科技大學(xué)
2021-04-14