硅基縫隙耦合式T型結的直接式毫米波信號檢測儀器
本發明的硅基縫隙耦合式T型結的直接式毫米波信號檢測儀器是由傳感器、模數轉換和液晶顯示三大模塊組成,傳感器由共面波導傳輸線、縫隙耦合結構、移相器、單刀雙擲開關、T型結功分器、T型結功合器以及直接式熱電式功率傳感器所構成,該結構是制作在高阻Si襯底上,上方的兩個縫隙耦合結構實現信號的頻率測量,下方的兩個縫隙耦合結構實現信號的相位測量;T型結功分器和T型結功合器是由共面波導傳輸線、扇形缺陷結構和空氣橋組成;直接式熱電式功率傳感器由共面波導傳輸線、熱電偶和隔直電容所構成。模數轉換部分由STM32和AD620
東南大學
2021-04-14